木仿13μm、ピッチ30μmのハンダボ〖ル妨喇禱窖を話嫂/ルネサスのチ〖ムが倡券
話嫂排怠とルネサステクノロジは、木仿13μmと井さな瀕フリ〖はんだボ〖ルをインクジェットのような數及で、答饒懼に妨喇する禱窖を鼎票で倡券し、澎疊辦ツ抖怪撇で倡かれた2008鉗柜狠3肌傅システム礁姥柴的∈International 3D System Integration Conference 2008∷で券山した。マスクを蝗わずに木仿13μmのハンダボ〖ルを悸附できるため、豆ピッチの驢ピンパッケ〖ジの活侯に蝗うことができる。
木仿13μmのハンダボ〖ルだと、ボ〖ルのピッチとしては30μmが材墻だ。話嫂とルネサスは、この30μmのピッチの毋を績した(哭1)。驕丸は100μm踏塔のボ〖ルピッチを悸附することは端めて豈しかった。これまでの數恕では、ハンダボ〖ルの木仿を絡きくできなかったため、答饒燙姥を絡きくせず驢ピン步に灤炳することはできなかった。
ここまで井さなハンダボ〖ルを悸附できたのは、わずか1pl∈ピコリットル∷とインクジェットプリンタのインク事みの井さな閉覺のハンダボ〖ルの緯を侯瀾するヘッドを倡券したことによる。Sn-Agのハンダボ〖ルは、ピエゾ燎灰のダイヤフラムを額瓢することで拖突ハンダを徘叫することで妨喇する。インクジェットプリンタの付妄と票じである。
ただし、1plとわずかな翁を徘叫させるため、ノズルを供勺した。驕丸のノズルは士燙懼に逢を倡けたものだが、海攙の劉彌では布に鋪の邊寬妨に裁供し、さらにドライN2を酷き燒ける羹きも恃え、拖突ハンダが答饒の懼に皖ちる數羹と票じ數羹に酷き燒けるようにドライN2の酷き叫し庚も供勺した。N2の酷きつけはハンダの煥步を松ぐために風かせない。
ハンダボ〖ルを妨喇するSiなどの答饒懼にはCuなどのパッドを妨喇しておく。ヘッドから徘叫する拖突ボ〖ルはCuパッド懼にたとえずれて很ったとしてもセルフアラインメントにより、極瓢弄にCuバンプの懼に妨喇される。
この數恕は、マスクで辦崇妨喇する數恕とは般い、驢眶のボ〖ルを籃刨よく妨喇するのに箕粗がかかることが徒鱗される。このため、1plという腮翁の拖突ハンダを丁惦するための暗排ダイヤフラムの額瓢パルスの升に簇しても拇べた。徘叫させる額瓢パルスの箕粗を、3.3ms、5ms、10msと恃えていくと、300農/擅、200農/擅、100農/擅とスル〖プットが恃わっていく。票箕に徘叫疤彌籃刨は1.60μm、1.59μm、0.81μmと光くなってくる。疤彌籃刨を雇胃すると、10msで徘叫し1擅粗に100農の拖突ハンダを叫蝸するときの籃刨が0.81μmと呵も紊い。
妨喇するハンダボ〖ルの絡きさは13μmだけではない。ノズルの木仿を恃えるともっと絡きな木仿のボ〖ルもできる。悸賦では徘叫させる拖突ハンダの翁を48nl∈ナノリットル∷と驢くすると木仿450μmのボ〖ルが妨喇できた。
悸狠に、2綏の3mm逞のシリコンチップの山燙に50μmピッチのハンダボ〖ルを妨喇し、それらをフェ〖スツ〖フェ〖スで儡魯する悸賦も乖っている。
さらに、シリコン答饒にTSVの從奶功を倡け、その逢に羹けてハンダボ〖ルを慮ち哈み從奶功を雖めるという禱窖にも努脫できることがわかった。木仿100μm、考さ300μmの從奶功に木仿40μmの拖突ハンダを雖め哈むには70農の拖突ハンダが澀妥だったとしている。
ただし、腮嘿ピッチのハンダがマスク禱窖で材墻になれば、あるいはCuバンプによる數恕と孺べ欄緩拉∈スル〖プット∷が昔るため、劉彌は活侯ラインに羹くといえよう。
