10μm仿で考さ125μmの從奶排端をAviza家が活侯
勢Aviza Technology家は、3肌傅SiP瀾隴に羹けた從奶功妨喇プロセスに廟蝸している。セミコン駱涎において票家が叫鷗した妄統はまさにこの爬にある。つまり駱涎では海、LSIパッケ〖ジメ〖カ〖が從奶功妨喇禱窖の倡券に廟蝸しているからだ。
13泣羔漣面の答拇怪遍で揭べた、駱涎ASE グル〖プ家ジェネラルマネジャ〖敷チ〖フR&Dオフィサ〖のHo-Ming Tong窮晃の柒推を微燒けるかのように、この從奶功妨喇にはパッケ〖ジングメ〖カ〖だけではなく、メモリ〖メ〖カ〖、亨瘟メ〖カ〖までもがコラボレ〖ションしている。
この從奶功はメモリ〖チップを部綏も腳ねるのに耙蝸を券帶する。DRAMだけではなく啡掠排廈に炳脫されているようにDRAMとフラッシュメモリ〖を腳ねる炳脫も驢い。1つのLSIパッケ〖ジに掐れたメモリ〖推翁をパッケ〖ジを更くすることなく詞帽に籠やせるからである。炳脫は啡掠排廈にとどまらず、PDAやiPod、iPhoneなど鼻嚨や茶嚨を艱り哈む啡掠デバイスなどにも見妥がある。メモリ〖推翁は驢いのに臂したことはない。
この從奶功をウェ〖ハプロセスの呵稿に妨喇する眷圭にはリスクが光くなる。己竊が釣されない。かといって呵介からウェ〖ハを猴るわけにはいかない。充れるリスクが燃うからである。Avizaのプロセスはウェ〖ハプロセスの孺秤弄幌めの檬超で考い孤を貳り、その面に垛擄を雖め哈み從奶排端を妨喇するもの。すでに、木仿10μmで考さ125μmという端めてアスペクト孺の光い從奶功を妨喇している。從奶功は碰臉ながら懼から布まで堆辦な木仿で妨喇されなければならない。鳥鉤が光くなっては罷蹋がないからだ。
從奶排端は、エッチング、CVD、エッチング、バリヤメタル孿姥などの供鎳を沸て妨喇される。潑に考いエッチングを乖った稿は、コンフォ〖マルなCVD妨喇やPVD禱窖が腳妥になる。考いエッチングにしても、125μmととてつもなく考い孤の妨喇には、帽姐なエッチングでは妨喇できない、と票家PVD,CVD&エッチング瀾墑グル〖プ么碰甥家墓敷ジェネラルマネジャ〖のKevin T. Crofton會は咐う。エッチング廬刨を澄瘦しながら、エッチングとデポジションを帆り手しながら逢を貳って乖くのだという。
この從奶功の妨喇は帽なる悸賦ではない。パッケ〖ジングアセンブリメ〖カ〖と、IDMやファウンドリなどの染瞥攣メ〖カ〖ともコラボレ〖ションして、妥滇慌屯を使いている。Crofton會は、海LSIパッケ〖ジングの80%はワイヤ〖ボンド禱窖で排端を馮んでいるが、5×10鉗稿には50%が從奶排端になるとみている。
