これまでの光学顕微��との比較�^真など��来見えなかった、あるいは見にくかった�^真画�気鬚海里曚表o開した。さらに立���颪�3次元�莟Rもできるような光源の工夫も進めている。

この顕微��は、ある�]晶メーカーから依頼を�pけて、透��電極ITO（Indium Tin Oxide）を何とか顕微��で見ることはできないものか、という相�iから始まった。透��電極は��来の光学顕微��でも実��顕微��、SEM(走�h型電子顕微��)でも見ることができない。ITOパターンの�W画�X況を�`��で確認できない。パターンの�k�陲�細くなっている場合、電気的にはつながっているため初期的には��常動作をするが、その�霾�だけ電流密度が�屬�り、その�T果、信頼性の問��が発�擇垢覿欧譴�ある。パターンを�`��できれば異常なパターンをすぐ見つけることができる。

左の��来の顕微��では見えなかった�]晶の透��電極がくっきり見える(��が新型顕微��)

開発したエムテックの代表�D締役　中井興四�r��は、�]晶メーカーの要求を実現するため光を�屬�ら照�oし、わずか�Aめから光の反�oを検出しようと考えた。実際に�気��荵，靴童�ると�l直線に�瓦靴�4°��けるだけなら�気力弔�0.25%しか�擇犬覆い海箸�わかった。この��度なら�科�に�荵，任�ると考え、�l直線に�瓦靴�3〜4°�Aめから光を�oれ、CCD光検出�_で反�o光を検出する。その�T果、��来の実��顕微��(左)では見えなかった透��電極のパターンが���笋凌祁晋家���でははっきり見える。光源には白色LEDを8個使い、平�Cに並べた。LED1個当たりの電流は35mA��度であるためほとんど発�Xしない。

��来の顕微��(左)では光は横からハーフミラーを通り試料からの反�oを見るため��るさが��少。新型顕微��(��)は微小ながら角度を�eつため�気�歪むが光はほぼ100%�擇�せる。

この顕微��を開発し、初めて商��化したのは2000�Q。以来、少しずつではあるが、半導��メーカーや�]晶メーカーに入り込みつつある。しかし�科�ではない。このほどさまざまな�^真を��来の顕微��と比較し、�o開した。

ICチップを�荵　�左は��来の顕微��、��が新型顕微��の�^真

��来の顕微��(左)ではICチップ表�Cの汚れが見えにくいが、新型顕微��(��)ではくっきりと見える。配線�屬琉��颪蘯永未任�る。

��筒を試料から90mm以�屐∂`して見ているため��点深度が深く、同じ倍率でもくっきり見えるという��長がある。もちろん、より立��的な�気鮓�るのに適しているとしている。まだ�荵［磴呂覆い�、チップを3次元実�△垢襪燭�楉姪填砲魴狙�する場合、楉鵡Δ��屬�ら下まで100μm以内ならはっきりと見えるはずだと、中井��は言う。

エムテックはさらに立���颪��荵，皺��Δ文家���も開発している。これは��弧型の光源を作り、白色LEDを数10個、��弧�Cに�pって並べたもので、細い�R�o針や軸などの表�Cの�aなどを�屬�ら���Cにかけて�荵，任�る。�t座に�L陥を見つけることができるため、�L陥検出時間が極めて�]い。

立���颪鮑t座に�荵，任�る��弧�犠���の最新型の顕微��

今�vの顕微��は、光源にLEDを使うため、バイオテクノロジーなどの細胞の�荵，砲盡�くという。��来の白�Xランプを��いた顕微��では、光を当てると細胞は�t座に逃げてしまうため、�荵，��Mしいといわれている。LEDはたとえ�j電流を流して発�Xさせても�Xをチップの裏�笋�ら逃がすことができる。白�X�iとは違い、光と同じ�妓�に�Xも行くことはない。この顕微��に関する問い合わせ先は、(�~)アゴラ社（agora_ni@ybb.ne.jp、電�B0256-35-6310）が�pけ�eつ。