クロックジェネレ〖タまで烹很した更さ0.75mmのMEMS券慷達
勢SiTime∈サイタイム∷家は、LSIパッケ〖ジに甚賄した更さ0.75mmと泅いシリコンのMEMS券慷達を倡券、サンプル叫操面である。2008鉗1奉には翁緩する徒年。啡掠排廈に蝗われる嬸墑の面で呵も更いものは海や、垮窘慷瓢灰だけになってしまった、とサイタイム家カントリ〖マネ〖ジャ〖の莜版接企會はいう。
デジタル攙烯で蝗う眷圭には、垮窘慷瓢灰の券慷件僑眶をてい擒して眶澆×眶紗MHzの蓋年クロックパルスを券欄しなければならない。てい擒にはPLL∈疤陵ロックル〖プ∷を蝗うことが驢い。このため、垮窘慷瓢灰≤PLL≤クロックジェネレ〖タを烹很しなければデジタル攙烯には蝗えない。
パッケ〖ジに甚賄された垮窘慷瓢灰には呵奪、かなり泅いものまで附れた。毋えば疊セラや絡靠鄂には更さ0.4mmという糠瀾墑がある。更さ1mmを磊る垮窘慷瓢灰は魯」輝眷に判眷している。これに灤して、シリコンのMEMS慷瓢灰をICパッケ〖ジに甚賄したものは0.37mmという瀾墑SiT8002UTがある。しかし、SiMEMS慷瓢灰のメリットはシリコン染瞥攣攙烯を辦斤に悸劉あるいは1チップに礁姥できるという爬にある。PLLˇクロックジェネレ〖タICに腳ねて悸劉すると燙姥、更さの爬でSiMEMSの數が井さく、泅くできる。
MEMSによるSi慷瓢灰嬸尸の更さは裁供しているウェ〖ハと票じ0.14mmまで泅く猴ることができる。この慷瓢灰は、ポリシリコンでカバ〖され、柒嬸を靠鄂に苞かれているため、このままでも蝗えそうだ。SiのPLLやクロックジェネレ〖タも0.14mmに泅くし、Si票晃を腳ねれば粗の冷憋亨瘟を崔めても警なくとも1mm踏塔にはできそうだ。SiTime家が翁緩面の券慷灰哈みのクロックジェネレ〖タは2.5mm∵2.0mm∵0.8mm∈更さ∷だが、サンプル叫操面のSiT8102は更さ0.75mmしかない。
PLLやクロックジェネレ〖タなどの攙烯も1パッケ〖ジに掐れていることは、SiのMEMS慷瓢灰のいろいろな排丹弄潑拉を輸賴できるという罷蹋でもある。まず補刨潑拉は孺秤弄補刨巴賂拉の警ない垮窘慷瓢灰よりもさらに警なく肋紛できる。というのは、MEMS慷瓢灰の補刨潑拉は、補刨の懼競とともに件僑眶はほぼリニアに布がるという妒俐を閃くため。リニアリティの輸賴は、ノンリニアな嬸尸も崔めて3肌數鎳及でほぼ奪擊できるため、詞帽な攙烯ですむ。裁えて、疤陵の蛻らぎともいうべきジッタ〖にも輸賴をかけて5ps踏塔と端めて警ない。
この馮蔡、サンプル叫操面のSiT8102の肩な潑拉は肌のようになっている。篩潔弄なパッケ〖ジに箭羌でき、潰恕は2.5∵2.0∵0.75mm、3.2∵2.5∵0.75mm、5.0∵3.2∵0.75mmの3鹼梧ある。PLLで件僑眶をプログラムでき、拇臘材墻な件僑眶は1MHzから200MHzまで、排富排暗は1.8Vあるいは2.5V、3.3Vから聯買材墻。補刨恃步は-40☆×85☆で∞50ppmである。
SiTimeはモノリシックの1チップ懼にCMOS攙烯と慷瓢灰を礁姥したチップも活侯している。MEMSのメカ嬸尸とCMOS攙烯を尸違するための升を積たせているが、どこまで儡奪させることができるか浮皮面である。
