図1　9月1日に�h歳�xで行われたラピダスの��工式　出�Z：ラピダス

ラピダスは9月1日に��工式（図1）を行い、�L外から��LAM ResearchやオランダのASML、ベルギーの半導��研�|所imecの��(chu┐ng)�陲盻仞覆靴拭�ラピダス社の進�tについて日経�噞が報じている。同社は9月1日時点での社�^数は約200�@で、内60人の�\術�vが�櫂縫紂璽茵璽��Ε�ールバニにあるIBMの半導��研�|拠点で2nmプロセスノードの設���\術を学んでいるという。2nmという�∨，蓮▲船奪��屬亮��∨，任△�13nm�i後から�j(lu┛)きくかけ�`れており、設��、��にトランジスタと配線の3次元化を進める��要がある。MOSトランジスタと配線、スルーホールなどレイアウトがこれまでの、7nm、5nm、4nm、3nmのライブラリとは�j(lu┛)きく異なるためレイアウト設���\術の�{�uがマスク設��には�L(f┘ng)かせない。

ラピダスの���]に�L(f┘ng)かせない半導�����]ガスの供給に関しても、これまで高圧ガスは�E函トンネルを通れないという���Uがあり、その�棺菲，�問����されてきた。半導��材料ガスを扱う�j(lu┛)陽日��電子機材ガス��業�陲量鄂���史課長は、「東�B港か横�p港からガスを�L�嵳∩�する」�T�bづけた（9月8日の日経�噞）。�j(lu┛)陽日�┐�24�Qに�噞ガス供給��の設�△鮠�工し、25�Q1月からラピダスの新工場にガスを供給する��画。25�Q4月から�n働するラピダスの試作ラインに間に合わせるためである。

ラピダスの工場建設は鹿��建設が4月に��(li│n)定されており、24�Qの10月までに建屋を完成させて試運転を始める��画となっている。24�Q��からは次世代半導��の���]に�L(f┘ng)かせないEUVリソグラフィ����など、�j(lu┛)型設�△糧惰�を始める。

2nmプロセスノードでは、実�∨，�13nm�i後を加工するため、�S長13.5nmのEUVリソグラフィが�L(f┘ng)かせない。その先にはダブルパターニング�\術も使うと見られており、唯�kのEUV����サプライヤーであるASMLの協��が�L(f┘ng)かせない。ASMLにはすでに��湾に4500�@��度のメンバーが常駐していると言われており、ASMLとの協��は��要不可�L(f┘ng)。ASMLのEVP & Chief Business OfficerのChristophe Fouquet��は、25�Qまでにラピダスに導入するようにしっかり���△鮨覆瓩襦△��Bしたという。EUV����と�k緒に使う、レジスト塗布現������であるコータ・デベロッパは東�Bエレクトロンに発�Rしているという。

ただ、試作ライン�n働までに2兆��、27�Qの量��までに合��5兆��が��要と日経は報じており、その�@金調達に関しては今のところ��確になっていない。ただ、3300億��の国家予�Qがあてがわれているが、��て税金で��うのか、�c間からの調達も含めるのか、まだ��らかにしていない。��て税金なら国�cを納�uさせるための説��が求められる可��性がある。

福�K県は、このほど半導��分野に��化した人材育成拠点「福�K半導��リスキリングセンター」を福�K県�噞・科学�\術振興財団（福�K�x）の施設内に開設し、eラーニング形式で最先端半導��の設��や関連�\術を学べる��20講座の配信を始めた、と8日の日経�噞が報じた。10月以�Tは���Cでの講座も順次予定している。県内の中小企業に無料で提供し、関連�噞の振興につなげるという。

���L�Oでもラピダスの進出を踏まえ、半導��の���]や研�|、人材育成の複合拠点の実現を�`指す「���L�O半導��関連�噞振興ビジョン」を検討する�~識�v懇�B会の初会合を9月8日に開いた、と日経地��(sh┫)版が伝えた。���L�Oは12月�崔羹椶乏���予定の3�v�`の懇�B会でビジョンの素案を議�bし、パブリックコメント（�T見�o募）を経て、2024�Q3月に最終��定する��(sh┫)針。