ロシアのウクライナ侵��で懸念される半導���噞への影�x
2月24日、これまでの�g張�X(ju└)��を�]ち破りロシアがウクライナへ�k気に侵��した。これに�瓦靴���(sh━)国商��省はロシアへの輸出���U(ku┛)を発表した直後、��(sh━)半導��工業会（SIA）は、この輸出���U(ku┛)を�Хeする�m��を出した。また、半導���x場調�h会社であるTrendForceやTECHCET（図1）はいち早くその影�xに関するニュースリリースを発表した。
図1 TECHCETが報じた半導��材料への影�x 出�Z：TECHCET
ロシアのウクライナ侵��に�瓦靴董���(sh━)欧日は�{加経済�U(ku┛)裁することを��めた。欧�Δ任魯蹈轡△�らの�W��ガスや石��(t┤ng)を送るパイプラインがロシアからウクライナを経�y(t┓ng)して通っている。ロシアのプーチン�j(lu┛)統�襪呂海譴泙妊僖ぅ廛薀ぅ鵑鮗���することをほのめかしてきたが、今のところは様子見である。むしろ、核の抑�Vをチラつかせており核戦争になる�e(cu┛)険性を含んでいる。もし核戦争となれば、ロシアは欧�Δ世韻任呂覆���(sh━)国と日本にも核ミサイルを撃ち込む�e(cu┛)険性が高い。これに�瓦靴惇��箴o国は外国との�D引をできないようにするため外国主要銀行との外�D引に使われるSWIFTからロシアを締め出すことを��めた。
こういった�g��情勢の中で、半導���噞への影�xに関する議�bも�Hい。おおざっぱではあるが、現時点（2月28日）で半導��への影�xをいち早く表��した情報が、��湾を拠点とするTrendForceのプレスリリース（参考�@料1）と材料�U��(sh━)�x場調�h会社TECHCETのニュース（参考�@料2）であろう。
これらのニュースによると、半導�����]に使われるNe（ネオン）ガスはウクライナ��が世�cの70%に及び、ロシア��のPd（パラジウム）金�錣��x場の45%を��めるとしている。ロシア��のC4F6ガスも先端ロジックで使われている。Neガスは、�](m└i)期的には�科�な蓄積があり、半導�����]に�j(lu┛)きな影�xを��(j┤)さないだろうとTrendForceは述べているが、長期的には影�xが出てくると思われるが、それについては述べていない。
180nmプロセス以下の半導�����]ではKrF/ArFエキシマレーザーが使われるが、KrF/ArFガスとの混合させるためにNeガスが使われるという。複数のファウンドリによれば半導������の75%が180nm以下の����だとしている。TSMCとSamsungが使っているEUVリソグラフィを除けば、180nm〜1xnmノードの����は90%にも及ぶという。
また、プラズマエッチングやプラズマCVDでもキャリアガスとして不��性ガスが使われているはずだが、そのキャリアガス����でのNeガスを議�bしたレポートは筆�vはまだ見ていない。ウクライナでのNeガスは、ロシアで�攵�する鉄�^���]の副���颪箸靴��收�され、それをパイプラインでウクライナへ送り、ウクライナで半導��グレードに�@��しているといわれている。
半導��材料に関する調�h会社として定�hのあるTECHCET（参考�@料2）によれば、C4F6ガスはエッチングガスとして使われ、ロシアから��(sh━)国に輸出され、��(sh━)国で半導��グレードに�@��している。Pd金�錣魯蹈轡△�世�cの33%を��め、南アフリカと並んでいるという。半導��ではセンサやMRAM、パッケージングでのメッキなどで使われており、�O動�Z����では排ガスを抑えるための触��として広く使われている。
2月25日のTrendForce（参考�@料3）によれば、Al（アルミニウム）やN(xi─o)i（ニッケル）、Cu（銅）などの��(r┫n)磁性金�錣皀蹈轡△��l(shu┴)富に�攵�しており、Niの世�cシェアは9%に及ぶという。トップはインドネシアの37%だが、高純度Niの�攵�は世�cの22%をロシアが�攵�しているとする。
ロシアのウクライナ侵��を�pけて、��(sh━)国商��省が輸出���U(ku┛)を�]ち出したのに�瓦靴董�SIA（��(sh━)半導��工業会）は、ロシアが輸入している��(sh━)国��チップは0.1%しかなく直接の影�xは少ないため、商��省の��(sh┫)針を�Хeする�m��（参考�@料4）を出している。またロシアのICT�x場は、��世�cの4.47兆ドルに比べ、503億ドル（約1.1%）と小さい。ロシアとウクライナ以外のガスや材料のサプライヤーがたくさんいるため、供給が��絶える直接のリスクは少ないとSIAは見ている。
また28日の日本経済新聞は、モバイル通信業�c最�j(lu┛)の�t��(j┤)会であるMWC（Mobile World Congress）において、ロシアの�t��(j┤)スペースを設けないことを報じた。開��(h┐o)�vであるGSMAは「命が悲惨にも失われている現�X(ju└)を考えると、MWCは�_要ではないように思われる」としながらも、「MWCはコネクティビティ（つながり）が人々や�噞、社会の繁栄を確かなものにできるというビジョンを�eったイベントだ」と説��したと報じている。
参考�@料
1. "Ukrainian-Russian Conflict Affects Semiconductor Gas Supply and May Cause Rise in Chip Production Costs, Says TrendForce", TrendForce (2022/02/15)
2. "Supply-Chain Threats from Russia-US Tensions〜Can Dependencies on Russia Materials Impact US Chip Production?", TECHCET (2022/02/01)
3. "War Rages in Ukraine, Global Raw Nickel Prices for Power Batteries Likely to Rise, Says TrendForce", TrendForce (2022/02/25)
4. "SIA Statement on Sanctions on Russia", SIA (2022/02/24)
5. "Russia-Ukraine war to cripple semiconductor industry globally", BusinessToday.In (2022/0224)
6. 長見晃、「ウクライナ侵��インパクト関連：最先端半導���\術を巡る実��模様」、セミコンポータル (2022/02/28)
