まず���u��故の�X況を紹介しよう。���k報が流れた情報では、��業�^の人的被害はなかったが、建屋の被害はないものの、�k�陲涼�役設�△鉾鏗欧�出ていない。また、�~害ガスなどの流出はない、と述べている。N3棟は�攵�を停�Vしているが、200mmラインのN2棟とウェーハテストのWT棟は�n働を��けているという。

19日23時の時点ではまだクリーンルームに入れなかったためにこの時点では原因を��定できていない。翌3月20日の午�i9時から警察と消防による現場検証を行い、���u発�攜彊�や被害�X況などは判��次���瑤蕕擦襪箸靴討い拭�

そして、3月20日の22時5分には���uに関する��2報のプレスリリース（参考�@料2）が流れた。現場検証は20日午�i9時頃から始まり、午後1時ごろに終了した。現場検証の�T果、建屋の被害はなかったが、純水供給����や空調����など�k�霖�役設�△�よび�k�����]����に被害が出ているという。そして、警察および消防による現場検証が終了し、出��元がN3棟（300mmライン）の�k�霍���である、メッキ����であるということが��定された。同����の����およびメッキ��は�Xへの�單戮�相�甘�に低く、�堙杜�が発�擇靴燭海箸砲茲衄���に至ったものだと��定された。

�堙杜�が発�擇靴晋彊�や発��に至った経緯については調�h中としながらも、設�△砲弔い討い��v路ブレーカーが落ちる�iに、メッキ��の中にあるアノード電極から��いている���笋稜枩�の�k�陲謀杜�集中が��き、そこで電線が切れてしまい発��したという。電線が消えて電流が停�Vしたのであるが、すでに�Zくにある�`脂材料に��が飛び�，辰討靴泙辰拭�作業�^がその様子を見つけ発��を確認し、��常停�Vボタンを押したが、��はすでに�}の��けられない�X��になっていたために消防へ連絡したという。

なお、焼���C積は、約600平��(sh┫)メートルで、N3棟（300mmライン）1Fのクリーンルーム�C積（12,000m2）の内、約5%に相当し、焼��した���]����は、11��でN3棟（300mmライン）の�����]����の約2%に相当するという。焼���C積が小さいからと言って、�攵妌��に�Ь磴�少ないということは��してない。半導��プロセスは、流れ作業ができないという性格の工場だからである。現に、���u現場の1階のクリーンルームの�屬砲△�2階のクリーンルームは��常に�n働しているが、出��元がBEOL（半導���i工��の中の後半の配線工��）であり、すでにFEOL（半導���i工��の中の�i半のCMOSトランジスタを形成する�i半の工��）は��常に�n働している模様。

メッキ工��はプロセスの中でも�k般に、後半の配線工��なので、それまでに作り込んだウェーハはこの工��に来る�iまで��常��として扱うことができるが、BEOL����が当分使えなくなる�X況になる。�k般にメッキ工��は、半導��プロセスの中で、分厚い金�錣魴狙�する時に使われることが�Hい。デュアルダマシン�\術でCu配線を形成する場合でも、まずバリヤメタルを��け、スパッタで�|となるメタル電極を形成した後にメッキで分厚い金�錣魴狙�する。メッキ工��はマルチチャンバの�O動化された����ではあるが、�堙杜�が発�擇靴燭海箸砲茲辰����uが発�擇靴燭發里世箸垢襪函▲瓮奪�����に�堙杜�保護�v路を導入していなかったのだろうか。電極�Zくの�`脂が�M�\性だったのかどうか、あるいは電流集中が��きた場合に�堙杜�検出�v路が搭載されていたかどうかなどについては、����メーカーに問い合わせている最中だとしている。

メッキ工��では�j(lu┛)電流を流す�lだから、��に���uという�u害を考えると、保護�v路は絶����要だろう。�v路ブレーカーだけでは心もとない。また、メッキ工��に限らず、半導�����]����は、�Z載半導��不�Bから始まった今�vの半導������の供給不�Bという�菘世�ら見て、�堙杜�に限らず、�堙徹汽機璽己欷遒��壹X保護、時にはセキュリティ保護など、�W��・�W心を確保しリスクに�△┐襯謄�ノロジーは��須となろう。

現在は半導������の供給不�Bにより、ただでさえ�n働率が90%を��える、という�`�k�Jの�X��なのに、���uを��こしてしまった。��田英�W(w┌ng)CEOは、できるだけ早く、1カ月以内での�攵孿開を�`指すとしている。焼けただれたクリーンルームを見て、さまざまな反�bの��問が出たものの、同��は交換?ji└)�要な�����?1��で、����や�雕爐両}配が同時に行われ、入�}できるタイミングは最�]で1カ月で行けると踏んでいる。クリーンルームのフィルタや�雕爐覆匹鬚�き集めており�Dえられることを確信したという。ルネサスは、2011�Qの3.11の被害の時もクルマメーカーやティア1メーカーの�мq�頏�に内�陲諒���けなどの作業を�}伝ってもらった経�xがある。今�vも、5社以�屬�OEM（�O動�Zメーカー）やティア1サプライヤーがすでに�@乗りを挙げており、����作業で�攵孿開に�eっていけるとしている。

半導�����]に限ったことではないが、日本企業は保護�v路やセキュリティ�敢�など、本来の機�Δ篝��Δ魴eつシステムに�瓦靴董∧欷遒垢襪世韻里海箸縫灰好箸鬚�けるという企業文化が��しい。無�Gなコストと考えがちだ。また、世�cの半導��工場は、�u害や��故、テロなどのリスク分�gのために世�c中に工場を分�g・設��しているが、日本企業は�kカ所に集中させることが�Hい。リスクにコストをかけることは世�c企業では常識だが、日本企業にはまだ浸透していないようだ。

ルネサスに限れば、今�vの�u害は確かに不�mな出来��ではあるが、それを隠さず��てをさらけ出し、��故の顛��をほぼリアルタイムで�k�雹禄�伝えたことは、賞賛に値する。ルネサスが昔とは�j(lu┛)きく違ってきたことを、Free Webinar（参考�@料3）で伝えてきたが、不�mな出来��に�t座に�棺茲掘△靴�も��らかにした経営陣は、完��に�垉遒発�別したことを��している。

参考�@料
1. 半導�����]工場（那�M工場）の���u発�擇亡悗垢襪��瑤蕕� (2021/03/19)
2.半導�����]工場（那�M工場）の���u発�擇亡悗垢襪��瑤蕕察���二報） (2020/03/22)
3. 経営にシリコンバレー流を�eち込んだルネサス、�j(lu┛)変身進む (2021/03/02)