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実化を加]するSiCパワーデバイス

SiCパワーMOSFETが来のIGBT(Integrated Gate Bipolar Transistor)にDって代わると言われけて数Qたったが、SiCパワー半導の性向屬肋実に進んでいる。性Δ鴉うというより、実化を加]する動きが出てきた。また、IoTを~使して攵掚を屬欧襯妊献織襯肇薀鵐好侫ーメーションが始まった。

2020QにSiCを採するZを走らせる、とトヨタO動Zがo表していたが、2020QまでにSiCウェーハの供給が不Bすると見込まれており、トヨタは新型のIGBTに切りえると12月17日の日経Xtechが報じた。SiCのクルマでのW(w┌ng)は、インバータが実化されるiに使われそうだ。まずオンボードチャージャー(AC-DCコンバータ)とDC-DCコンバータのようなW定化電源v路だ。電源v路で実績を屬押▲潺奪轡腑鵐リティカルなインバータへとt開する。

SiCデバイスがクルマに使われるようになると、そのx場はj(lu┛)きくなり、これまでのような量U(ku┛)では官できなくなる恐れがある。パワー半導は、メモリなどの量とは違い、月1000個度以屬鯲名と定Iしているためだ。クルマ応はこれまでにないSiCパワー半導の応x場となる。

Siと比べ、SiCが高a(b┳)に耐えられるという長は、逆にプロセス処理しにくいことの裏返しでもある。Siよりもずっと硬いSiCのT晶インゴットからウェーハに切り出すのにも何時間もかかるが、ディスコがレーザーで切した後、仕屬恩λ甓湛までをO動化することに成功、スループットを来よりも5割高めた、と21日の日経噞新聞は報じた。ウェーハ1当たりの加工時間は10分に]縮したという。さらにウェーハにロット番(gu┤)などを刻印し、トレーサビリティの管理も改したとしている。

SiC MOSFETはSiのIGBTよりも高]動作が可Δ世、その分使いづらいというmもある。菱電機と東Bj(lu┛)学はゲートしきい電圧Vthを屬欧襪海箸如外陬離ぅ困留惇xをpけにくいMOSFETを開発したと発表した。これはMOS表CにS(硫黄)を添加することで、電子のk陲鯤畭しゲートしきい電圧を高めながら、オンB^はそれほど\加しないという。また、噞\術総合研|所と富士電機は共同で、高a(b┳)でのオンB^が1平(sh┫)cm当たり0.63 mΩと低い1200V耐圧のSiC MOSFETを開発した、と20日の日刊工業新聞が伝えた。二つの発表共、12月3~5日、(sh━)国のサンフランシスコで開かれたIEDM 2018において発表されたもの。

デンソーがHV(ハイブリッドZ)向けの半導デバイスを攵する岩}の新工場が完成した、と20日の日経噞が報じた。トヨタ東日本は岩}、宮城の工場に小型Zなどの攵を集約する(sh┫)針で、新工場は電子機_(d│)の]拠点として機Δ垢襪箸靴討い襦2019Q1月から、HVに使われる半導デバイス「パワーカード」の攵をはじめ、メーター類も]する。SiCを攵するかどうかはらかにしていない。

IoTを~使して工場の攵掚を高めるデジタルトランスフォーメーションを推進する、とOKIのサービス戦Sを19日の日経噞が紹介している。設△良n働率をセンサで把曚掘▲潺垢鰒(f┫)らす。この攵掚向屬離機璽咼垢鮑83Q間で50億の売幢Yに\やすことを`Yとしている。まず業^が^からDり出すをプロジェクタで指(j┤)する。を作業で組み立てる工の作業マニュアルもプロジェクタで指(j┤)する。来はLEDで指(j┤)していたが、^や作業ごとに設するためコストがかかりすぎていた。プロジェクタの導入により設投@Yを75%(f┫)らすことができたという。OKIはすでにj(lu┛)g(sh┫)工業の工場に導入し、効果を検証している。

TDKは秋田県にかほxの稲倉工場で、来200mもあった攵ラインを5mに]縮、業^の‘意{(di┐o)`が1/50、リードタイムが1/10に]縮し、時間当たりの攵ξが4倍に屬った、と19日の日経噞が報じた。ここではフェライトコアを攵しており、これまでの材料調達、設、攵厙理、出荷までての工での不良をなくすことにをRいだT果だったとしている。次はデジタルトランスフォーメーションに向けて動きだす。

(2018/12/25)
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