図1　半導�����]����のカギとなるサブシステムサプライヤのトップ10社　出�Z：VLSI Research

VLSI Researchはこれまで、優秀なサプライヤ、顧客の�h判の良いサプライヤ、などのランキングを発表してきたが、基��を��らかにせず、残念ながら報�Oされることが少なかった。今�vのように売�幢Yといったわかりやすい指�Yであれば、採り�屬欧笋垢ぁ�

2015�Qの���]����のサブシステムのトップメーカーはCarl Zeiss社SMT（Semiconductor Manufacturing Technology）�靆腓任修稜��幢Yは10億ドルに達している。元々、光学レンズに�咾�Carl Zeissは、EUVオプティクスをはじめ、エキシマレーザリソグラフィ��の光学�Uやフォトマスクのリペア����やマスク検�h����、ガス分析�_などが�u�Tな企業だ。�i�Qもトップをキープしていた。

��2位のEdwardsは真空ポンプに�咾ぅ汽廛薀ぅ笋如�売�幢Yは6億3000万ドル。3位がMKS Instruments社で5億4000万ドルと��いている。4位のBrooks Automation、5位のAdvanced Energy、と1位から5位までは昨�Qと順位は変わっていない。

日本勢として、堀場��作所、��原��作所とも�i�Qよりも順位を�kつ落としている。ただし、VLSIは2014�Qの売�屮肇奪�10を発表していない。