�┣祝豸�、配線幅、スペース、不純�馭仕�、プロファイル、そのためのガス流量、�a度、圧��などさまざまなパラメータの�U御が��要となる。個々のプロセスでは��格�J囲内であるとしても、プロセスがあまりにも��雑になると、�T果としてICチップとして現れる��性が良��基��を満たさない場合が出てくる。ICは集積度が2億トランジスタにも及ぶようになると設��の複雑度だけではなくプロセスの複雑度も�\してくる。

さまざまなデータを�Dっていても、それが最終スペックとどう関係するのか、データ量があまりにも膨�jでプロセスにどうフ��ードバックすべきか、わからなくなることがあるという。�H変量解析は、さまざまなデータ量を�D理して、相関関係を見出し、��格外のデバイスをプロセス�屬�ら見つけ出すことができる。

さまざまな実�xをして����を作り出してきた化学や薬学のデータ解析に�H変量解析�}法は使われてきた。化学や薬学では、�kつの����を開発したからといってもすぐに����化されるわけではない。それは毒性を�eたないか、人��への�K影�xはないか、副作��はないか、さまざまな他の����と反応して社会に�K影�xがないように膨�jな数の反応�壻�を徹�f的に調べる。データ量があまりにも膨�jなため、それを�D理してわかりやすい形にするために�H変量解析が使われてきた。このような統��解析�}法はChemometricsと�}ばれていた。

この�}法が今度は半導�����]にも広がりを見せている。半導�����]工��があまりにも��雑になってきたからだ。これはSemimetricsとも�}ばれている。パナソニックは、低歩�里泙螢ΕА璽呂糧��擇鯔富Vするために早い段階からこの�|の�}法を�Dり入れてきたことを、11月4日東�B秋��原で開かれた「プロセス不良の発見/�v�cへの応��を見据えた、�H変量解析基礎セミナー」で��らかにした。45nmプロセスのDVD��ICは2億5000万トランジスタもあり、工��は複雑すぎる。プロセスデータの経時変化から今後のデータを予�Rするバーチャルメトロロジーと�}ぶ�}法を導入し、進化させている。

膨�jなデータを解析する�x販のツールもある。��MKS社が数�Q�iに�A収したスウェーデンのUmetrics社はこういった�H変量解析ツールの昔から定�hのあるメーカーだ。1987�Q設立の同社は石��・��薬・化学�噞で実績を�eつ�H変量解析ツールの開発会社で、60人しかいない��業�^の35%が�F士だ、と講演した同社のJohn Hultman��は述べる。最�Zでは、金融の分野にもこの�H変量解析が使われ始めていると同��はいう。同社は化学分野へはこれまで通り�R��するが、半導��は他の�噞よりも成長率が高いとして、半導��プロセス分野へも�H変量解析という統��数学的�}法を�eち込んできた。

半導�����]は微細化が�Mしくなっているだけではなく、プロセスも膨�jになってきているため、膨�jなデータの�D理を歩�里泙蟆鮴呂北鯲�てようというのが�H変量解析である。�F士だらけの企業が統��数学を�~使してビジネスにつなげようというこの動きは、��雑化が進む半導�����]にとって新たなビジネスチャンスを�擇濬个�。�k�気糧焼���メーカーもこういった賢い�}法を導入することで高い歩�里泙蠅魎�待できるとなると、統��数学をある��度理解する��要が出てくる。半導��ビジネスの裾野はますます広がっていく。