このプロジェクトは、ISMIの会�^企業ではない半導��メーカーや����メーカー、材料メーカーに�瓦靴討皀�ープンにしていく��画で、詳細はまもなく��らかにする。欧�Δ�REACH（Registration, Evaluation, Authorization of Chemicals）���Uとも歩調を合わせ、環境に�K影�xを及ぼす材料、化学����を削��し、プロセスを改��していく。ESHへのインパクトができるだけ少ないような新しい化学����や材料、プロセスを���]に使うようにしていく。

ユニークな点は、KEPI（Key Environmental Performance Indicator）と�}ぶ環境負荷を表す指数を導入することだ。この指数を�Y����格として半導���噞の環境負荷の削���`�Yを立て削��を実行していく�屬任凌�値とする。例えば、省エネの場合にはkW/時/デバイスとか、デバイスやウェーハなど何らかの数量でノーマライズして省エネや�~害����など環境負荷の度合いを半導�����]���~の指数で�Rろうとする。KEPI（ケピと発音）を半導�����]���~の環境指数として、原材料からプロセス、アセンブリ工��に至るまで半導�����]のすべての工��に適��できるようにする��画だ。

この指数をもとにESHの監�hを導入することも��画しており、ISO14001のように環境負荷の削����画を実行し、それを監�hしていくような���Uを構築していく考えだ。

ESHを守ることは、���]で使��する電��エネルギーや水、化学����の量をできるだけ��らしていくことからコスト削��にもつなげていくとしている。ISMIの統括�vでSEMATECHのManufacturing Technologyのバイスプレジデントである、Scott Kramer��は、「450mm工場を作る場合には最初からグリーン工場にしなければいけない」としている。

このESH Technology Centerの最初の設��場所はまだ��まっていないが、世�c中に設��していく考えを�eっている。「世�cの半導���噞にいるみんなが環境負荷の削��に�Dり組み企業価値を�屬欧討い韻襪茲Δ砲靴燭ぁ廚�Kramer��はセミコンポータルの��問に答えた。