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駱涎蠟紹の面柜絡(luò)桅へのIC禱窖≈敗啪憚擴此下∽

面柜での漣供鎳Fab樓渴へ

 2007 鉗より駱涎蠟紹は面柜への染瞥攣禱窖の敗啪憚?chuàng)Г虼讼陇筏郡韦邱樝绚稳酒硵仴榨ˉΕ螗丧辍即攵趣厦婀窠j(luò)桅へ8 インチ、0.18um のウェハ供眷への抨獲を幌めた。2007 鉗1 奉20 泣、駱涎の絳屏は腳紡輝蠟紹と防腆して、列數(shù)が腳紡で8 インチウェハ供眷を氟肋することに圭罷した。

 この0.25um から0.18um への憚擴此下は、斷か70nm の汗しかないが、染瞥攣緩度においては腳妥な罷蹋がある。懼長IC 緩度定柴妄禍墓の菊奸碗會は、≈0.18um プロセス禱窖の憚擴此下は、染瞥攣緩度が券鷗した馮蔡、染瞥攣緩度の頂凌の懼からも澀臉である∽と揭べた。
 面柜染瞥攣の漓嚏踩、屈絡(luò)汞會によると、面柜の染瞥攣緩度は駱涎の染瞥攣緩度と鈍泰弄な簇犯にあるという。附哼、駱涎は、IC 肋紛尸填では、坤腸媽2疤、ファウンドリ〖とパッケ〖ジング尸填では坤腸トップであり、IC の另卿懼は躥柜を卻いて坤腸媽3疤に疤彌燒けている。

 辦數(shù)、駱涎は、
 1.輝眷が井さい
 2.客亨稍顱
 3.排蝸稍顱∈面柜も排蝸稍顱である∷
 4.孟刻が驢い
という4 つの草瑪を豎えているため、これらの風爬を輸うことの叫丸る面柜絡(luò)桅への敗啪は澀臉である。

 駱涎碰渡の染瞥攣緩度に簇する憚擴此下により、糠たに駱涎廓の面柜渴叫ブ〖ムが苞き彈るかも夢れない。
 附箕爬では、駱涎の絳屏は、この≈憚擴此下∽稿に辦戎玲く瓢き叫し、腳紡輝蠟紹と防腆して、列數(shù)が腳紡で8 インチウェハ供眷を氟肋することに圭罷した。絳屏の哪癱紊啤禍墓によると、腳紡に抨獲した妄統(tǒng)は澎嬸ではエンジニアの萎瓢が楓しく年緬唯が礙いのに灤し、讕嬸ではエンジニアが奧年しているからだと本っている。また、墓袋弄に斧て、腳紡は讕嬸へのゲ〖トウェイ弄な疤彌燒けにあり、孟妄弄にも庭疤であるといっている。さらに、腳紡蠟紹の緩度蠟忽と絳屏の抨獲紛茶が圭米していることも絡(luò)きい。

 附哼、TSMC は懼長揪咕に8 インチウェハ供眷で0.25um プロセスを何脫しているが、TSMC は、2 鉗漣に駱涎碰渡に0.18um の面柜絡(luò)桅抨獲を拷懶していた。
 蝸窘は、TSMC や絳屏に孺べて、面柜抨獲は警し覓れている。票家は、貸に紳戳、遼劍、歐吶を鉻輸孟として聯(lián)年している屯に斧られるが、度腸銅蝸囤によると、遼劍に渴叫する材墻拉が光いという。
 面柜の度腸簇犯莢は、駱涎の染瞥攣メ〖カ〖の面柜渴叫によって、面柜の附覺のファウンドリ〖緩度に糠たな頂凌が彈こるだろうと斧ている。それは、面柜の染瞥攣欄緩ラインは肩に6 インチと8 インチが面看であるが、駱涎の染瞥攣ウェハ〖メ〖カ〖の8 インチ欄緩ラインは憚滔が絡(luò)きく≈駱涎の讕渴∈讕へ渴むの罷♂面柜は駱涎の讕にあるためである∷∽により、面柜における面柜と駱涎の染瞥攣頂凌は辦霖楓しくなるだろう。
 附哼、面柜には47 塑の染瞥攣欄緩ラインがある。この柒、12 インチが2 塑、8 インチが10 塑、6 インチが12 塑、5 インチが9 塑、4 インチが14 塑となっている。駱涎の染瞥攣メ〖カ〖の面柜渴叫により、シリコンウェハやリ〖ドフレ〖ムや踐婚といった染瞥攣亨瘟や挑墑、ガスといった染瞥攣サプライチェ〖ンの李懼への面柜抨獲も寵券になってくるだろう。

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