図1　Infineonのセンサの実��　出�Z：Infineon Technologies

Infineonは、�Z載��半導��が��社売り�屬欧�51%もある�Z載に��(d┛ng)い会社だ。パワー半導��だけではなく、ゲートドライバICやマイコンなどをチップセットとして、ソリューション提供できる点が��(d┛ng)いことをすでに伝えた（参考�@料1)。このほど��らかにされたことだが、�Z載センサもBoschと並ぶほどの実��になっている（図1)。

Infineonはさらにセンサビジネスを�P�tするため、����を拡�j(lu┛)している。例えばMEMSマイクだ。この分野はこれまでKnowles社がトップを走っていたが、2021�QのMEMSマイクのシェアではInfineonがトップに立った。これは、�\術的にMEMSマイクのメンブレンを2個作��して感度を�屬�SN比で最高73dBと極めて高い性�Δ鮨�したことが�j(lu┛)きい。

高感度のマイクは、AIスピーカーに採��され（参考�@料2）、英国XMOS社の音�Sのビームフォーミング�\術と合わせて使うことで、AIスピーカーから�`れて�mをかけても�科�応答してくれるという��長をもつ。

ただ、MEMSセンサといっても、すでに実績のある加�]度センサや、�v転を検出するジャイロセンサなどのセンサの成長率は鈍ってきているとして、高い成長率の見込まれる4つの分野にフォーカスしていく。MEMSマイク、レーダIC、3D ToF（Time of Flight）イメージセンサ、そしてCO2検出などの環境センサである。これら4つの�x場は、今後5�Q間で21億400万ユーロから2027�Qには46億2400万ユーロへと成長が見込まれており、そのCAGR（�Q平均成長率）は17.1%と見込まれている。�x場調�h会社OMDIAがリリースしている世�cのセンサ�x場����の成長率が4.7%の成長率しかないため、Infineonは高成長分野に絞って����開発に��を入れていくことになる。

MEMSマイク以外では、レーダICセンサは�O動�Zの�i��(sh┫)の����検出に使われているがこれを�O動�Zだけではなく、医��機�_(d│)や、人感センサとしての人数のカウント、スマートフォンなどでのタッチしないジェスチャー入��などにも使われ始めている。医��機�_(d│)では、人間の�}吸数と心拍数を24GHzあるいは60GHzのミリ�Sレーダで心臓や肺の�P長・収縮を検出することで、60秒間のパルスを検出する。人感センサはオフィスやビルでの入��出管理に適��できる。かつてのGoogleスマートフォンPixel 4ではジェスチャー入����に使われていたが、これはあまり普及しなかった。

3D ToFセンサは、�C発光レーザーから複数の光を発し、����から反�o(j━)する光の��復時間から�{(di┐o)�`を�R定する。空間的にスキャンすることで����の3次元画�気鱸Wくことができる。ただし、�^真のカメラほど解�菊��S高くないため、かえってプライバシーが保たれるというメリットがある。�Z内での幼児の��き去りを検出するセンサとして�~効である。もし�Z内に幼児がいれば、そのセンサ情報を両親のスマホに�瑤蕕擦襪海箸發任�るため、期待されている。

図2　PAS法を��いた新しいCO2センサ　出�Z：Infineon Technologies

CO2センサは、PAS、（Photoacoustic Spectroscopy）と�}ばれる��(sh┫)法を使い（図2）、化学センサではないため、信頼性が高い。しかも小型にできる。この��(sh┫)法は、�軍粟�パルスを出��し、光フィルタに当てると�S長4.2µmの�軍宛�だけを通すことになり、この�S長の�軍宛�を吸収するガスはCO2分子だけになる。CO2分子は�軍宛�を吸収したことでわずかな振動を��こすため、それをMEMS圧��センサで検出する。��来の�Z�軍宛�を使う場合は光の送�p信の原理を使うためセンサが�j(lu┛)きくなっていた。PAS法だとセンサのサイズは��来の1/4と極めて小さい。このため、室内のCO2の量を�Rることによって、室内の人数�U(ku┛)限や換気などの�敢�を行うことができる。

また��音�Sセンサの新しい開発も行っており、水中でもジェスチャーやタッチセンサとして使えることを�`指している。

参考�@料
1. 「パワー半導��の�槐vInfineonが語る、これからのパワー��業に��要なもの」、セミコンポータル (2023/10/25)
2. 「AIスピーカーの感度を�屬欧�XMOSのマルチスレッドプロセッサ」、セミコンポータル (2017/12/12)