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半導工場のファシリティをk括提供、Industry 4.0を推進するNECファシリ

半導工場で培った見をかし、工場施設の管理をk}に引きpけるNECファシリテーズ(図1)。半導工場では、クリーンルーム内での様々な浄工における純水の管理をはじめ、Q|薬供給や{浄な空気供給のシステム、排水設、排気設△覆疋侫.轡螢謄がHい。それらの業をk括アウトソースで引きpけている。ここにもIoTW、すなわちIndustry 4.0の予保が始まった。

インターフェックスtでのNECファシリテーズのブース

図1 t会「インターフェックス」に出tしたNECファシリテーズ


かつての半導工場では、ウェーハを処理するプロセス工での歩里泙蠅筌好襦璽廛奪箸慮屬覆匹Rしているエンジニアがいるk気、水や薬、ガスなどの施設にも人^が張りいていた。この施設の霾をアウトソースして、本来の半導攵掚向屬暴乎罎垢、という考え気最Zは\えてきた施設の管理や運では、半導\術そのものとは異なる独のノウハウがあり、高いスキルをeつ人材を確保することがMしい。現在の人^が高齢化しているのに、採も育成もできない。設△離肇薀屮襪vcしてW定にn働させたくても人}不Bが最jの問となっている。

そこで、水・薬・ガスなどのファシリティをアウトソースするための業vとしてNECファシリテーズがある。だからといって、同社も人^が満たされているわけではない人^不Bを解するため、研Tなどを積極的にし育成している。研Tするための施設「FM-Base」も設立する(図2)。2024Q5月のn働予定だが、{^期間を来の半分にらすことを`的としている。様々な設△貌Dりけた警報が出た時の訓aを行い、故などに素早く棺茲垢襪海箸鯀世Α8Tを終えたら、人材を顧客の工場に派遣し常駐させる。これによって24時間交代Uを採りながら顧客の工場を常に見守っていく。


早期育成を`指す研T施設「FM-BASE」の設立 / NECファシリティーズ

図2 早期育成を狙った研T施設「FM-Base」 出Z:NECファシリティーズ


実際の運管理では、30分に1v保守要^が巡v点検を行うが、この巡v点検の約7割が`による点検だという。メータの読みDりや、バルブの開閉X、U御盤のランプの点i確認、設△良戎パネルの内容確認などを`で検hしてきた。

そこで、`検hをO動化しようという動きも出てきた。2022Q4月には3Dビューと振動を組み合わせた設△琉枉鑞獣検凜轡好謄燹NEC DFM Presagio」を発表、半Q後にはリアルタイム映飢鮴呂鮖箸辰唇枉鑞獣検凜轡好謄燹屐NEC DFM Presagio II」を構築した(図3)。映飢鮴呂任蓮`データだけではなく複数のデータをWした異常判定のロジックを設定している。的には、モータや軸pけのスペックや施設が設されている基礎の|類など^a\術vがeつ振動|値のデータをAI(機械学{)でトレーニングさせ、学{データを基に|値の予R値をめる。


IoT・AIによるファシリティマネジメントの高度化 / NECファシリテーズ

図3 カメラベースでや設△琳`や振動センサで工場設△良n働X況を把曄―儘Z:NECファシリティーズ


BCP(Business Continuity Plan:業M画)мqも行っており、これまでも地震やuなどの故に瓦靴мqを行い、素早い復旧を実現させてきた。地震やu、洪水などのu害に瓦靴、設△を行い、施設の唸やuのマニュアル作成などiの敢を]つ。

NECファシリテーズのビジネスは、施設の運管理だけではない。工場地の確保から工場建設、リスク管理、管財管理、工場v収、工場解、地売却などもpけeつ。実z的なシステム教育も行っている。

また、クリーンルームは半導以外にも医薬]や食]などの工場でも広がっている。そこで、この7月には医や化粧など]に関するt会「インターフェックス」に出t、半導ファシリテーズの経xを擇したビジネスt開を行っている。

(2023/07/12)
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