ドイツのMerck、泣塑恕客の染瞥攣プロセス挑墑倡券に1帛ユ〖ロを抨獲
板挑墑や步池挑墑に動いドイツのMerck家は、泣塑の排灰亨瘟尸填に1帛ユ〖ロ∈腆135帛邊∷を2025鉗までに抨獲すると券山した。潑に泣塑は、染瞥攣が動い躥柜と駱涎に奪い柜であり、腳妥な凋爬だと票家は疤彌づけている。1帛ユ〖ロは染瞥攣とディスプレイ亨瘟に抨獲する。Merckは染瞥攣プロセスに蝗われる亨瘟をほぼカバ〖しているという。
哭1 メルクエレクトロニクスの瑯鉑禍度疥 叫諾¨Merck
Merckはヘルスケアで年刪のある步池挑墑メ〖カ〖だが、泣塑恕客のメルクエレクトロニクスの瑯鉑禍度疥は1984鉗の肋惟笆丸、染瞥攣ˇディスプレイ瀾隴脫フォトレジストおよび排灰亨瘟簇息挑墑 ∈附嚨閉、シンナ〖、リンス閉、瓊違閉、瓤紀松賄遂恨、泰緬錦恨、冷憋遂妨喇恨、瘦割遂恨∷などの 驢呆にわたる瀾墑を倡券してきた。泣塑の凋爬は、メルクのグロ〖バルな染瞥攣亨瘟禍度に棺弗しており、2021鉗1奉には腆 2,000它ユ〖ロ∈腆27帛邊∷を抨じ、瑯鉑俯讕嬸の齒李輝で呵絡憚滔をもつ燙姥 6,000士數メ〖トルの糠卉肋を階供した∈哭1∷。
この瑯鉑禍度疥は甫墊倡券から瀾隴までのラインが路っており、≈奧鏈拎度と奧年丁惦∽がこの禍度疥の擦猛となる、とメルクエレクトロニクス洛山艱涅舔家墓の筆拍盡會は胳っている。
Merckが胺う染瞥攣プロセス亨瘟は哭2に績すように、パタ〖ニング、デポジション、士たん步禱窖、エッチング、麗爵、ド〖ピング、パッケ〖ジングなどのプロセスに第ぶ。この柒、泣塑恕客が胺うのは、パタ〖ニングとデポジションである。
哭2 染瞥攣プロセスを弓くカバ〖する 泣塑恕客の瑯鉑禍度疥ではパタ〖ニングとデポジションを胺う 叫諾¨Merck
パタ〖ニングでは、フォトレジストだけではなく、プロセス猖紊ソリュ〖ション亨瘟やプロセス挑墑、DSA∈Directed Self-Assembly∷禱窖などの亨瘟を積つ。
フォトレジストでは、エキシマレ〖ザ〖羹けのKrF/ArF脫、リフトオフ脫、イオン面のマスクとなる更いレジストなどがある。プロセス猖紊ソリュ〖ションでは、瓤紀松賄遂や、パタ〖ン束れを娃えるArF麗爵閉、EUVリンスなどを路えている。プロセス挑墑では附嚨閉やエッジビ〖ドリム〖バ〖などを積つ。
デポジションでは、CVD脫のプリカ〖ザ〖となる亨瘟に裁え、SiO2をスピンオンガラスで妨喇するための亨瘟を積っている。メルクエレクトロニクスによれば、CVDの亨瘟だけではなく、スピンオン冷憋亨瘟と尉數を積つ步池墑メ〖カ〖はMerckだけだという。
附洛家柴は黎渴デジタル欄寵屯及∈Advancing Digital Living∷になっている、とMerckは斧ており、そのために澀妥な染瞥攣見妥が橙絡すると鼎に染瞥攣稍顱も碰燙魯くと徒鱗する。さらに2020鉗から幌まった糠房コロナのパンデミックとデジタルライフは糠しい見妥を侯り叫しているため、染瞥攣見妥はますます光まると斧ている。瑯鉑禍度疥には附哼250嘆いるが、呵姜鉗の2025鉗までに30嘆を籠動して280嘆に籠やしていきたいと罷丹哈んでいる。
