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Infineonの2番`の300mmウェーハ工場がオーストリアに完成

ドイツInfineon Technologiesがオーストリアのフィラハに建設していた300mm完O動化の新工場をn働させた(図1)。9月17日(同日日本時間20時30分)にオープニングセレモニーを開、セレモニーの最後に、クリーンルームから完成ウェーハをeち出して~けけるというデモまで披露した(参考@料1)。300mmの薄いウェーハを攵するが、2022〜23QのEVや再擴Ε┘優襯ー要拡j(lu┛)を予[して建設した。

図1 Infineonのオーストリアフィラハ工場 奥に見えるのが新300mmライン 出Z:Infineon Technologies

図1 Infineonのオーストリアフィラハ工場 奥に見えるのが新300mmライン 出Z:Infineon Technologies


Infineonは、予定よりも3ヵ月i倒しで工場を完成させた。新工場はW井にウェーハトラックを配△靴心井O動化工場としている。しかも攵妌のO動化をAIでмqしており、CO2を出さない工場でもあるという。この工場は人間の髪の毛(通常は70〜100µm)よりも薄い300mmウェーハ(厚さ40µm)をプロセス処理する工場であることを何度も(d┛ng)調しており、その`的はパワー半導の量である。にIGBTはクルマやエネルギーなどモーターを~動するデバイスだ。

これに関して同社CEOのReinhard Ploss(hu━)は、「Infineonはモビリティ(O動Zや電Z、豢機などの輸送}段)やエネルギー効率を屬欧襪燭瓩糧焼で成長してきた。これまで経営e(cu┛)機があったが長期的な点で投@してきた。新工場で何を作るかは、と応でまる。EVやソーラー、風など高電圧で少ないロスが求められる分野、デジタル化とそのための電源に向けた応、さらに地球a(b┳)暖化というj(lu┛)きなロスにも挑戦している。300mmの薄いウェーハは成長をけるためのカギとなる」と述べている。

欧Δ波焼の新工場を設立したことはEU(European Union:欧ο合)もj(lu┛)迎している。EUは、2030Qに現在の半導のシェア10%を20%に引き屬欧襪箸いχ`Yをeっているからだ。EUコミッショナーのThierry Breton(hu━)はビデオ出演して「半導はての噞でL(f┘ng)かせない_要なとなっている。クルマや豢機、スマートフォン、パソコンなどあらゆるものにL(f┘ng)かせない。しかし、今は半導不Bだ。噞だけではなく社会的にも半導はとても_要だが、今はまだ供給が{いいていない。EUはこの新工場を(d┛ng)く迎する」と述べている。そして、「フィラハの新工場は欧Δ量鄂瓦修里發里任△蝓半導噞における欧Δ離ャッチアップが始まった」と表現している。

300mmの薄いウェーハはポテトチップのように曲がってしまい、}でeつことはできないため、ウェーハをХeする透なパッケージに入れて、オープニングセレモニーのiに開された記v会見の場で}にeって見せた(図2)。


300mmの薄いウェーハを}にするInfineon 関係v 左からInfineon Technologies Austria社のCEOであるSabine Herlitschka(hu━)、Infineon Technologies CEOのReinhard Ploss(hu━)、COOのJochen Hanebeck(hu━)

図2 300mmの薄いウェーハを}にするInfineon 関係v 真ん中がInfineon Technologies CEOのReinhard Ploss(hu━)、がCOOのJochen Hanebeck(hu━)、左がInfineon Technologies Austria社のCEOであるSabine Herlitschka(hu━) 出Z:Infineon Technologies


オープニングセレモニーでは、テープカットではなく、関係vがそれぞれスマホを}にeち、アプリで開いたスイッチボタンの画Cをタッチすることで、ビデオでオープンするという映気流れてきた。新型コロナをcけるT味と、ハイテクのセレモニーを印(j┫)けるという二つのT味があった。また今vInfineonは、「Ready for Mission Future(_要な使命の(j┤ng)来への◆法廚箸いY語を掲げ、半導が(j┤ng)来を担うデバイスであることを訴求している。

参考@料
1. "Infineon opens high-tech chip factory for power electronics on 300-millimeter thin wafers", Infineon Technologies (2021/09/17)

(2021/09/22)
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