図1　焼けただれた����やクリーンルームの��材は��去された　出�Z：ルネサスエレクトロニクス会見でのスクリーンショットから

まず、焼けただれていた����や�W井は��去され、N3棟1階�W井の構�]材�D��工��が29日に終了、フィルタのような�雕爐両}配とススの��浄は順調に進んでいる。���u時に作業中のウェーハの3/4が無��で、使��できることがわかったという。そして1階にある���]��������の90%の動作確認を終えた。��田英�W(w┌ng)CEOは、うまくいけば1カ月以内に再開できる可��性は�jきくなった、と期待している。

最初の会見があった3月21日以来、����メーカーによる現場検証と、����メーカー派遣の外�霎賁膕箸砲茲訃楮戮文従豸‐擇鮃圓辰拭�25日には消防が現場を再訪、詳細検�hを行った。焼けただれた����やクリーンルームの�o材などの��去はその後だが、すでに復旧に向けた作業が始まっている（図1)。

ルネサスの会見を聞いていて、これまでの報�Oとの違和感の原因がわかった。��田CEOが�攵孿開時期を1カ月で始めたい、と言っているのに�瓦靴董‰HくのメディアはIC����が出荷される時期を言っているのではないかという違いだ。�攵�が開始されても実際にIC����が出荷される時期は4〜5カ月先になる。これまでの仕�X��を��て処理しても、2〜3カ月先になる。ただし工場での再開は1カ月以内から始まる、ということである。

そこで、今�vは被害を�pけ�T理や代��などが��要な���]����をリストアップした（図2)。ここで��した���]����からわかることは、Cu（銅）配線に��要なプロセスであり、BEOL（プロセスの配線工��）であることだ。この内、オレンジ色で��した2��のメッキ����が��元とみられ、6月以�Tにならないと使えない。その次に時間がかかりそうなのは黄色で��した5月中の�}配、そして�u色が4月中に調達できる見通しの����である。バンプ工��や�H層配線工��で使われる����である。

図2　被害を�pけたことがわかった���]����は23��だった　出�Z：ルネサスエレクトロニクス会見でのスクリーンショットから

交換ないし�T理が��要な����が当初見積もりの11��から23��に�\えたのは、後で���]����の専門家に見てもらって判��した。��に�e素ガスが発�擇靴燭海箸砲茲��愎�が�Hかったとしている。このため�e素濃度は��ず�R定しながら復旧作業をしている。化学フィルタや�~機フィルタを�{加したという。これからススの�{�Cだけではなく、�~機�餘���や�e素濃度を確認しながら�攵孿開に向けていく。

ルネサスのN3棟の1階がダメージを�pけた�攵�ラインであり、2階は��常に�n働するラインであるが、1階ではBEOL（Back-end of Line）のバンプ形成や�H層配線だけが行われているわけではないという。�k�陲離螢愁哀薀侫�����もあり、2階と1階をウェーハが行き来する構成になっている。このため、FEOL（Front-end of Line：CMOSトランジスタや素子分�`などの�v路のプロセス工��）だけを先に優先して終わらせることはできない。

そして、�攵凮始のスケジュールに関しても、図3に��すような��画を述べた。���u��故が3月19日に��きてから30日間は、今ある仕�X��で組み立てテスト、仕�Xウェーハでのテストまでできるが、その後30日間は�攵�ゼロ�X��になる。しかし30日後に�攵�が開始される。FEOLの�攵�を40日かけて�攵�し、その後20日間かけてBEOL工��でバンプや�H層配線を形成する。その後のウェーハテスト、組み立てテストへと進み、�n働は100%�v復へ進むと同時に出荷されていく。その後は新��ウェーハ投入となる。

図3　�攵孿開の��画見通し　出�Z：ルネサスエレクトロニクス会見でのスクリーンショットから

発��したメッキ����では、陽極からの配線の�k�陲��堙杜�が流れ、���}が飛び�gったことが原因だとされているが、�v路ブレーカーはもちろん�△┐討い襪發里痢⇒朸貿枩�においては�堙杜�保護�v路を入れていなかったという。�M�\性の�`脂も使われていなかったようだ。