糠禱窖陵肌ぐセミコンJ×5Gミリ僑テスタ〖、丹陵喇墓SiC馮窘、10µm芹俐
2019鉗12奉に乖われたセミコンジャパンでは、糠しい禱窖の碴が判眷していた。LSIテスタ〖のアドバンテストが5Gの塑炭ミリ僑RFチップ羹けのテスタ〖を倡券、SiC馮窘を倡券してきたデンソ〖が糠しい丹陵喇墓恕を雇捌、馮窘風促を1/100に猴負した。10µm芹俐ピッチのパッケ〖ジ禱窖を倡券しているコネクテックは30°Cという你補で妨喇できる禱窖を績した。
哭1 アドバンテストの5Gミリ僑テスタ〖V93000 OTAテストも材墻に
アドバンテストが券山した5G羹けテスタ〖≈V93000∽∈哭1∷は、肌坤洛のミリ僑脫RFICをテストする。海攙券山したのは、件僑眶24GHz×44GHzのモジュ〖ルと、57GHz×70GHzのモジュ〖ルを烹很できるテストソリュ〖ションである。DUT∈Device under Test∷を烹很したブロックを漣數4改、稿數4改烹很できる。1改のブロックに8改の列數羹ポ〖トが捐っているため、テスタ〖鏈攣では呵絡64ポ〖トをテストすることができる。このポ〖トを磊り侖えることで1ブロック碰たり8改のデバイスをテストする。
ミリ僑脫のRFICでもやはりIF∈面粗件僑眶∷に皖とすため、ミリ僑のIF檬として5.85GHz×18GHzのテストヘッドは、2018鉗に券山したWave Scale RF18を萎脫する。もちろん附哼の5G奶慨であるサブ6GHz灤炳のテストヘッドWave Scale RFはもっと井房で、哭1の焊緘漣にあるテストヘッドがそれである。このテストヘッドには32改の列數羹ポ〖トが烹很されている。ミリ僑デバイスのテストでは、驕丸奶りプロ〖バを郊てる數及だけではなく、プロ〖バを蝗わず痰俐でテストするOTA∈Over the Air∷テストヘッドも脫罷しているという。
アドバンテストは5G脫のテストヘッドだけではなく、賈很羹けのSoC脫テストヘッド≈RND520∽も券山した。これはプラットフォ〖ムベ〖スの繞脫SoCテスタ〖T2000に烹很して蝗う。256改のSoCを票箕に盧年できるウェ〖ハ羹けのテストヘッドである。呵絡175°Cまでの裁廬活賦できるように活賦補刨を拇臘できる。RND520に烹很する256チャンネルの2Gbpsデジタルモジュ〖ル2GDMEと、96チャンネルのデバイス排富DPS192Aも票箕に券山している。排富は呵絡192Aまでの排萎を丁惦する。
デンソ〖、SiCの丹陵喇墓が材墻に
テストメ〖カ〖がミリ僑という5Gの塑炭禱窖を捏丁する辦數で、SiC染瞥攣デバイスメ〖カ〖であるデンソ〖は、これまで競糙恕でしか喇墓できなかったSiCインゴットを、シリコンのエピタキシャル禱窖と票じ丹陵喇墓で妨喇した。ただし、シリコンのチョクラルスキ〖恕とは般い、鹼馮窘の件跋を丹陵喇墓で呂らせていく數恕を何る∈哭2)。
哭2 SiC馮窘インゴットの件跋を丹陵喇墓で呂らせていくデンソ〖の糠喇墓禱窖
デンソ〖はこの數恕を蝗って風促泰刨を1/100に你負したという。さらにこの數恕のメリットは、喇墓廬刨が驕丸の競糙恕に孺べて腆7×10擒廬いため、競糙恕では1インゴットの喇墓に1降粗かかったが、海攙の丹陵喇墓では1泣で貉んだとしている。馮窘風促が警ないのにもかかわらず、喇墓廬刨が1峰奪く廬いため、你コスト步に馮び燒く。SiCの舍第で呵絡の啼瑪がコスト光なので、その豺瘋になりそうだ。
芹俐ピッチ10µmでインタ〖ポ〖ザを稍妥に
プリント攙烯答饒の腮嘿步で10µmピッチが材墻になる禱窖を、糠熾に塑家を彌くコネクテックジャパンが倡券した。フリップチップボンディングの攙烯の芹俐パタ〖ンの妨喇にインプリント禱窖を蝗っており、しかも30°Cという撅補に奪い補刨で妨喇できるとしている。LSI眉灰に簇するITRS∈International Technology Roadmap for Semiconductors∷のロ〖ドマップでは35µmピッチが嘎腸だが、このインプリント禱窖を蝗うことで、10µmが材墻になる。
10µmピッチの芹俐が蝗えるようになると、LSIパッケ〖ジも崔めたプリント攙烯答饒の懼にメモリとプロセッサを端嘎まで奪づけて悸劉できる。このためインタ〖ポ〖ザなどコストアップの妥傍となる禱窖を蝗わずにすむ、としている∈哭3∷。
哭3 コネクテックジャパンの10µmピッチが材墻になるとインタ〖ポ〖ザは稍妥に
ただし、30°Cという你補で妨喇できることは、それ笆懼の補刨がかかった箕にはがれるのか、あるいは部らかの恃妨の恫れはないのか、といった啼瑪を豺瘋する澀妥がある。潑にプロセッサもメモリも冷えず乖き丸するようなコンピュ〖ティング脫龐では瓢侯補刨は光くなる。もちろん、庶錢や武笛などの錢瓷妄は風かせないが、それだけでは慨完拉に逼讀を第ぼす恫れがある。悸脫步には2023鉗を斧哈んでおり、それまでには豺瘋する澀妥がある。
