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蘭Holst Centre、フレキシブルエレクトロニクスをアジャイルなモノづくりへ

フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス(FHE)を進めるオランダの研|組EHolst Centreや、アディティブ]の実化を`指すAMSystems Centreが3次元構]のエレクトロニクスを`指し始めた。小型機_のに配線やシリコンチップなどを直接実△掲膜カバーを被せる。硬柔らかいフィルムでにpって形成したり、に直接配線をW画したりする。3Dプリンタにも擇す。アジャイルなモノづくりだ。

オランダのHolst CentreやAMSystems Centre、応研|組Eで1932Qに創立されたTNO(The Netherland Organization for Applied Scientific Research)は、研|所とはいえ、科学をx場へeっていくことがミッション。オランダ国内に10ヵ所あり、かつてPhilipsの研|開発拠点だったEindhovenに本陲いている。Holst CentreやAMSystems以外にも、ソーラー\術で他の研|所と協するSollianceもある。

フレキシブルエレクトロニクスは、フレキシブルプリント基屬貿枩をWいたり、~機トランジスタを作したりしているが、~機トランジスタの‘暗戮20Qiと比べてもいまだにシリコンMOSトランジスタの1/100以下というくおBにならないくらい小さい。これでv路を組むならいつまでたっても実化できない。そこで、シリコンのLSIの裏Cを薄く削ったチップを使い、配線には導電性インクで形成する、ハイブリッドなフレキシブルエレクトロニクスがR`され、Holst CentreはをFHEにRしてきた。


図 Improved printing technologies

図1 光を照o、そのXでインクの気泡を作りインクを押し出す光プリンティング\術 5µmまで配線を微細化できるというメリットがある 出Z:Holst Centre


フレキシブルエレクトロニクスあるいはプリンテッドエレクトロニクス、~機エレクトロニクスなどと言われる分野ではもはや~機トランジスタはeを消した。ディスプレイのTFTトランジスタさえも~機トランジスタではなく、┣馮焼IGZOなどの無機トランジスタをHolst Centreは使っている。

Holst Centreでは、フレキシブルプリントv路基の配線幅やピッチを最小5µmに微細化できる新しい光プリンティング\術を開発している(図1)。これは、透なインクタンク(CuやAgなどの金錣魎泙燹砲縫譟璽供叱を当て、局所的に加Xすることで気泡が発擇、それによってインクを押し出すという原理である。これはLIFT(Laser Induced Forward Transfer)と}ばれている。ちょうどインクジェットでインクに局所的に圧やXを加えてインクを押し出すという原理と瑤討い襦また来のスクリーン印刷のようにスキージでインクをスクリーン膜に押し出すことで文Cや絵をWく光プリンティングも提案している。これは、フォトマスクにレーザーではなくk括外光を当て、光が突きsけた霾のみ、インクが飛び出すことで文Cや絵をWく\術で、PhATT(Photonic Ablation and Transfer Technology)\術と}んでいる。

インクは、~機溶剤でCuやAgの金錣鰺呂したもの。このインクは0.5~100 Pa・sのl度で配線幅や配線厚さをl度によって変えていく。最小∨,任Cuのインクをいて、8µmのL/S(配線幅と間隔)、厚さ1µmを実現している。Agをいると25µmのL/Sをuている。


図 LIFT: printing on delicate substrates

図2 細い配線を形成すると透に見えるため高価なITO膜をき換えられる 出Z:Holst Centre


Agナノワイヤーのように細い配線を形成することによって、高価なITOをき換えるといった応(図2)も考えている。この場合は、細いグリッド線を印刷で形成する。このインク\術はフレキシブルプリント配線だけではなく、3次元形Xのなどにpってコンフォーマルに配線をWくことができる。

導電性の金錺疋奪箸LIFT法で形成した実x例では、2万2500ドット(1点100µm角、0.5mm間隔)を印刷するのに1秒Bらずだったという。この場合は、S長355nmの外線レーザーを使い、レーザー光パルス幅がnsオーダーで、繰り返し周S数は10kHzの条Pだった。

フレキシブルエレクトロニクスをクルマへ応することも考えており、インテリアにZ内のボディにpって印刷で配線すればワイヤーハーネスが軽くなる、とHolst Centreのスマートフレキシブルシステム靆腑咼献優抗発マネージャーのHelen Kardan(図3)は語る。


図3  Holst Centreのスマートフレキシブルシステム靆腑咼献優抗発マネージャーのHelen Kardan


Holst Centreでは、この印刷\術を使ったフレキシブルエレクトロニクス\術でや3次元にpった配線形成だけではなく、アディティブ]\術にも使えるとして、フレキシブルエレクトロニクスの新たな段階に入ったと認識している。そして、アディティブ]の念設も]ち出している。フレキシブルエレクトロニクスは、3次元プリンティング、アディティブ]などの\術を揃えることで、アジャイルなモノづくりの基礎に向かい始めた。

(2018/02/28)
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