EUVが違桅、ASMLが1名邊措度仆撬
オランダのリソグラフィメ〖カ〖ASMLが卿り懼げ1名邊を仆撬、1名2200帛邊∈9053帛ユ〖ロ∷の措度となった(哭1)。姐網(wǎng)弊は2862帛邊∈21帛2000它ユ〖ロ∷と網(wǎng)弊唯は23.4%と絡(luò)きい。蹦度網(wǎng)弊唯は29.3%。媽4煌染袋での瀾墑侍ではArF閉炕劉彌が卿り懼げの56%を貍め、その肌がEUV劉彌の25%になる。いよいよEUVが違桅する。
哭1 ASMLの卿懼馳の夸敗 帽疤は紗它ユ〖ロ(1ユ〖ロ♂135邊) 叫諾¨ASML
染瞥攣リソグラフィ劉彌の呵絡(luò)措度となったASMLの卿り懼げは2016鉗が票家の凰懼呵光の67帛9500它ユ〖ロ∈9170帛邊∷だったが、2017鉗は汾く1名邊を仆撬した。染瞥攣瀾墑侍では、呵も絡(luò)きいのがメモリで29帛6800它ユ〖ロ、肌がすでに肋彌された劉彌の瘦奸ˇ笨脫サ〖ビス卿り懼げで26帛7900它ユ〖ロ、ファウンドリは22帛8900它ユ〖ロとなっている。
リソグラフィ劉彌の瀾墑脫龐侍の減廟は、2017鉗媽3煌染袋にメモリが77%、ファウンドリは9%という孺唯で、メモリが暗泡弄に光かったが、媽4煌染袋にはメモリの孺唯が55%と負(fù)り、ファウンドリが30%に姆ね懼がった。卿懼馳は媽3煌染袋の21帛5400它ユ〖ロから媽4煌染袋には29帛3500它ユ〖ロと凱び、腮嘿步をけん苞するファウンドリへの羌掐が籠えたことは、EUV劉彌が塑呈弄に叫操されることを山している。
僑墓13.5nmのX俐を網(wǎng)脫するEUVリソグラフィは2017鉗の媽4煌染袋に4駱叫操され、卿り懼げには5駱紛懼されている。2017鉗に紛茶されたEUV劉彌の叫操駱眶12駱のうち、1×12奉に10駱を叫操し、荒り2駱のうち1駱は叫操潔灑面、荒りの1駱は2018鉗1奉に叫操徒年となっている。EUV劉彌に紛懼された卿り懼げは11帛ユ〖ロに茫した。
2017鉗のEUVリソグラフィ劉彌の任卿馳のうち、媽4煌染袋にEUV劉彌5駱尸、媽3煌染袋に票4駱尸を卿懼紛懼している(哭2)。EUVの叫操駱眶は2017鉗稿染から締廬に籠裁している。EUV劉彌のスル〖プットは125綏/箕笆懼、士堆弄なアベイラビリティは士堆90%笆懼の瀾墑を叫操することをコミットしている。
哭2 EUV劉彌が2017鉗稿染から魯」叫操された 叫諾¨ASML
また呵奪10駱のEUVを減廟し、減廟荒は28駱に姆ね懼がった。これは30帛ユ〖ロ笆懼の擦猛に陵碰するという。2018鉗には22駱の叫操を紛茶し、2019鉗には30駱笆懼を叫操するとみている。
2018鉗媽1煌染袋における鏈家卿懼馳は22帛ユ〖ロを徒年しており、EUVはそのうちの1帛5000它ユ〖ロだとしている。2017鉗瑣箕爬での減廟荒はEUVも崔めて鏈嬸で66帛8500它ユ〖ロにも茫するとしている∈哭3∷。
哭3 減廟荒にはEUV劉彌が呵も驢い 叫諾¨ASML
EUV劉彌の減廟荒はArF劉彌よりも媽3、媽4煌染袋とも45%、46%と絡(luò)きく、EUVはようやく塑呈弄な悸脫袋を忿えることになる。
