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EUVが`陸、ASMLが1兆企業突破

オランダのリソグラフィメーカーASMLが売り屬1兆を突破、1兆2200億(9053億ユーロ)の企業となった(図1)。純W(w┌ng)益は2862億(21億2000万ユーロ)とW(w┌ng)益率は23.4%とj(lu┛)きい。営業W(w┌ng)益率は29.3%。4四半期での別ではArF]浸が売り屬欧56%をめ、その次がEUVの25%になる。いよいよEUVが`陸する。

グラフ:2013-2017の売り屬温柔推

図1 ASMLの売幢Yの推 |碓未麓万ユーロ(1ユーロ=135) 出Z:ASML


半導リソグラフィの最j(lu┛)企業となったASMLの売り屬欧2016Qが同社の史嶌嚢發67億9500万ユーロ(9170億)だったが、2017Qは軽く1兆を突破した。半導別では、最もj(lu┛)きいのがメモリで29億6800万ユーロ、次がすでに設されたの保守・運サービス売り屬欧26億7900万ユーロ、ファウンドリは22億8900万ユーロとなっている。

リソグラフィの別のpRは、2017Q3四半期にメモリが77%、ファウンドリは9%という比率で、メモリが圧倒的に高かったが、4四半期にはメモリの比率が55%と(f┫)り、ファウンドリが30%に跳ね屬った。売幢Yは3四半期の21億5400万ユーロから4四半期には29億3500万ユーロとPび、微細化をけん引するファウンドリへの納入が\えたことは、EUVが本格的に出荷されることを表している。

S長13.5nmのX線をW(w┌ng)するEUVリソグラフィは2017Qの4四半期に4出荷され、売り屬欧砲5屬気譴討い。2017Qに画されたEUVの出荷数12のうち、1〜12月に10を出荷し、残り2のうち1は出荷中、残りの1は2018Q1月に出荷予定となっている。EUVに屬気譴診笋屬欧11億ユーロに達した。

2017QのEUVリソグラフィの販売Yのうち、4四半期にEUV5分、3四半期に同4分を売崋屬靴討い(図2)。EUVの出荷数は2017Q後半から]に\加している。EUVのスループットは125/時以、平均的なアベイラビリティは平均90%以屬を出荷することをコミットしている。


グラフ:Net System sales breakdown in value

図2 EUVが2017Q後半から々出荷された 出Z:ASML


また最Z10のEUVをpRし、pR残は28に跳ね屬った。これは30億ユーロ以屬硫礎佑冒蠹するという。2018Qには22の出荷を画し、2019Qには30以屬鮟于戮垢襪箸澆討い。

2018Q1四半期における社売幢Yは22億ユーロを予定しており、EUVはそのうちの1億5000万ユーロだとしている。2017Q時点でのpR残はEUVも含めて陲66億8500万ユーロにも達するとしている(図3)。


グラフ:Sysytem backlog in value

図3 pR残にはEUVが最もHい 出Z:ASML


EUVのpR残はArFよりも3、4四半期とも45%、46%とj(lu┛)きく、EUVはようやく本格的な実期を迎えることになる。

(2018/01/23)
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