図1　ASMLの売�幢Yの推�　｜碓未麓�万ユーロ(1ユーロ＝135��)　出�Z：ASML

半導��リソグラフィ����の最�j(lu┛)企業となったASMLの売り�屬欧�2016�Qが同社の史�嶌嚢發�67億9500万ユーロ（9170億��）だったが、2017�Qは軽く1兆��を突破した。半導������別では、最も�j(lu┛)きいのがメモリで29億6800万ユーロ、次がすでに設��された����の保守・運��サービス売り�屬欧�26億7900万ユーロ、ファウンドリは22億8900万ユーロとなっている。

リソグラフィ����の��������別の�p�Rは、2017�Q��3四半期にメモリが77%、ファウンドリは9%という比率で、メモリが圧倒的に高かったが、��4四半期にはメモリの比率が55%と��(f┫)り、ファウンドリが30%に跳ね�屬�った。売�幢Yは��3四半期の21億5400万ユーロから��4四半期には29億3500万ユーロと�Pび、微細化をけん引するファウンドリへの納入が�\えたことは、EUV����が本格的に出荷されることを表している。

�S長13.5nmのX線を�W(w┌ng)��するEUVリソグラフィは2017�Qの��4四半期に4��出荷され、売り�屬欧砲�5�����屬気譴討い�。2017�Qに��画されたEUV����の出荷��数12��のうち、1〜12月に10��を出荷し、残り2��のうち1��は出荷����中、残りの1��は2018�Q1月に出荷予定となっている。EUV����に���屬気譴診笋��屬欧�11億ユーロに達した。

2017�QのEUVリソグラフィ����の販売�Yのうち、��4四半期にEUV����5��分、��3四半期に同4��分を売�崋��屬靴討い�(図2)。EUVの出荷��数は2017�Q後半から���]に�\加している。EUV����のスループットは125��/時以��、平均的なアベイラビリティは平均90%以�屬�����を出荷することをコミットしている。

図2　EUV����が2017�Q後半から��々出荷された　出�Z：ASML

また最�Z10��のEUVを�p�Rし、�p�R残は28��に跳ね�屬�った。これは30億ユーロ以�屬硫礎佑冒蠹�するという。2018�Qには22��の出荷を��画し、2019�Qには30��以�屬鮟于戮垢襪箸澆討い�。

2018�Q��1四半期における��社売�幢Yは22億ユーロを予定しており、EUVはそのうちの1億5000万ユーロだとしている。2017�Q��時点での�p�R残はEUVも含めて���陲�66億8500万ユーロにも達するとしている（図3）。

図3　�p�R残にはEUV����が最も�Hい　出�Z：ASML

EUV����の�p�R残はArF����よりも��3、��4四半期とも45%、46%と�j(lu┛)きく、EUVはようやく本格的な実��期を迎えることになる。