Intel、7nmプロセスの工場を建設、EUVリソが本格化
Intelは、��(sh━)アリゾナ�Ε船礇鵐疋蕕�7nmプロセスの量�妌場Fab42を建設すると発表した。投�@金�Yは70億ドル(約8000億��)。工場の完成は3〜4�Q後になる見込み。ここで3000人の雇��を�擇澆世垢箸靴討い�。
図1 Intelが7nm工場の建設を予定しているアリゾナ�Ε船礇鵐疋藕�場 出�Z：Intel
この発表は、トランプ�j(lu┛)統�襪�IntelのCEOのKrzanich��(hu━)が共同で行ったもの。アメリカに雇��を�擇濬个垢箸いΕ肇薀鵐彌j(lu┛)統�襪���(sh┫)針に�pった。というのは、これまでになく、�`�Yが雇��確保のためを��(d┛ng)調しており、工場建設完了予定が3〜4�Q先というあいまいな設定だけに、���E的なにおいを感じるからだ。長期的にこの工場には1万人が新��に採��されるとしている
Krzanich��(hu━)は電子メールで��業�^に次のように説��している。「今後もムーアの法�Г鰊M(f┬i)��し、そのペースに�pって�攵��ξ�拡�j(lu┛)と研�|開発のために投�@を��ける。この工場によって、アメリカの地位が世�cのトップを維�eし��けることになるだろう」。
かといって、Krzanich��(hu━)はトランプ�j(lu┛)統�襪鱠��C的に�Хeしているわけではない。そのことを��確にするため、わざわざ次のような当たり�iのコメントも��業�^に伝えている。「Intelはグローバルな�\術メーカーであり、当社をアメリカのイノベーション企業だと思う。アメリカには独��で優秀な人たちが集まっており、ビジネス環境は��性化していてグローバル�x場へのアクセスも良い。このため、Intelのような��(sh━)国企業が経済成長とイノベーションを加�]している。当社の工場は高い賃金と高い���]�\術を�eつ人たちをサポートし、��(sh━)国経済のエンジンとなっている」。
確かにIntelは2015�Qに51億ドルの設��投�@を行った、最�j(lu┛)のハイテク設��投�@企業である。研�|開発投�@でも��(sh━)国で��3位の121億ドル(2015�Q)をつぎ込んでいる。
7nmプロセスではEUVリソグラフィが使われるという見��(sh┫)がもっぱらであり、IntelもEUV����ユーザーの1社である。EUVリソグラフィ����を?y┐n)��]・提供している唯�kの企業であるASMLの���Q報告(参考�@料1)から、その現�Xを読み�Dることができる。この�@料は、2016�Qの成果を報告している。まず、�攵��ξ�(スループット)の�`�Y値をクリアした。最新鋭機のNXE:3350Bをある顧客の工場でとったデータとして、3日間�n働した時の1日当たりの平均ウェーハ処理��数は1500��、と�`�Yの1500��/日を達成した。また、2��のNXE:3300Bを4週間�n働させた場合のアベイラビリテ��（実効的に�n働している時間）は最高90%、平均80%、と�`�Yの80%をクリアしている。
ただし、EUV����の出荷��数は�`�Yの6〜7��を下�vり、4��にとどまった。この�T果、現在の�p�R残は18��、約20億ユーロ分になった。ちなみにEUV機1��の価格がこのレポートから見積もることができる��図2に��4四半期の����の売り�屬欧覆匹鮨�(j┤)しているが、この四半期売り�屬�12億2300万ユーロに�瓦靴�、EUVは1��販売し、その売り�屬欧�12%となっている。すなわち1億4676万ユーロ、すなわち約176億��になる。
図2 ASMLの2016�Q��4四半期から見積もったEUV1��の価格 出�Z：ASML
また直�Zの2016�Q��4四半期には6��のNXE:3400を�p�Rした。2017�Qの��1四半期はさらに�Hい�p�Rを見込んでいる。このことは、最�ZになってEUVリソがようやく本格的に立ち�屬�ってきているという�T味である。だからIntelは7nm工場建設に踏み切ると判��したと同時に、これを�j(lu┛)々的に発表するため�j(lu┛)統�襪砲皺鍛瓦気擦燭箸い┐襪世蹐�。
参考�@料
1. ASML reports record 2016 net sales and net income (2017/01/18)
