肌坤洛リソグラフィEUV翁緩怠がTSMCでトラブル
TSMCの活侯ロットを萎している箕に、ASMLのEUVリソグラフィ劉彌が肝俱するというトラブルが券欄した。この劉彌は、呵介の翁緩怠であるEUVスキャナ〖NXE:3300B。捏啡メディアのSemiconductor Engineeringがレポ〖トする。
TSMCは、カリフォルニア劍サンノゼで倡かれた2014 Advanced Lithography Conferenceにおいてこの啼瑪を給山した∈徊雇獲瘟1∷。TSMCで活侯ロットを萎しているときにEUV各富柒嬸のレ〖ザ〖怠菇のアライメントミスが付傍で蟬れた。このため、EUVスキャナ〖は蝗えなくなっている。≈レ〖ザ〖のアライメントミスだった∽とTSMC肌坤洛リソグラフィ嬸嚏の墓であるJack Chen會は千めている。
票會は、ASML/Cymerはこの啼瑪を豺瘋する徒年だ、とEUVに灤して動丹の券咐をしている。禍悸、TSMCは、EUV劉彌に啼瑪があったのにもかかわらず、10nmノ〖ドでEUVを瞥掐する紛茶を束さない。≈これは碰家の謄篩だから∽と票會は揭べる。
それでもなお、啼瑪を給山したということは、EUVの嗆ましいトラブルがいまだに魯いていることを濕胳っている。TSMCでこの啼瑪が彈きたため、EUV劉彌の庭れた潑拉デ〖タを染瞥攣メ〖カ〖は碰尸評られないだろう、とある漓嚏踩は回紐する。
EUVにまつわる啼瑪は各富によることが驢い。悸狠には、マスクやレジストなど驢眶の啼瑪がEUVで十叫し魯けている。
各富の斧奶し
ASMLの呵介の翁緩怠NXE:3300Bは、呵奪、TSMCに叫操された。IntelやSamsungなどの染瞥攣メ〖カ〖は海鉗面に劉彌を掐緘したいと雇えている。このEUV劉彌の慌屯は、NA∈倡庚眶∷0.33、4擒抨逼數及を何脫、豺嚨刨がハ〖フピッチで22nm、となっている。
NXE:3300Bには、ASML/Cymerから30Wの各富が烹很されていたはずだ。しかし、海攙、1奉31泣漣稿の活侯供鎳で、レ〖ザ〖の怠菇が蟬れ、リソ劉彌は匿賄した、とTSMCはいう。勢柜箕粗2奉24泣附哼で、この劉彌はまだ瓢侯していない。Chen會は≈まだ肝俱面だ∽と揭べている。
海攙のトラブルは、EUV各富柒嬸の嬸墑、潑にコレクタにダメ〖ジを涂えた、とChen會は咐う。各富には、LPP∈laser-produced plasma∷數及を何脫している。この數及では、あるタ〖ゲットにパルスレ〖ザ〖を救紀することによりプラズマを券欄する。この各富はまた、プレパルスのレ〖ザ〖も蝗い、肩券慷達パワ〖アンプ(MOPA)でEUVのパワ〖を籠升する。
この各富はCymer家が倡券したもので、票家はASMLに呵奪傾箭された。ASMLに各富を羌めてきたCymerは2012鉗瑣までに100Wの各富を叫操することを腆蘆してきた。それまで、Cymerは40Wと50Wのパワ〖を券欄する墻蝸を績してきた。
55WのEUV各富は43綏/箕のスル〖プットに陵碰する。しかし染瞥攣メ〖カ〖は80Wの各富を滇めており、チップの欄緩にEUVの庭疤拉を積たせようとしてきた。80Wの各富なら58綏/箕のスル〖プットになる。ASMLは、2015鉗までに250Wの各富を積つEUVスキャナ〖を叫操したいという罷羹である。このパワ〖だと126綏/箕のスル〖プットになる。
徊雇獲瘟
1. EUV Suffers New Setback
