図1　IMEC　CEOのLuc van den Hove��

IMECはすでに300mmウェーハ工場内に450mm-readyと�}ぶ工場（クリーンルーム�C積4400m2）を完成させている。ここにオランダASML社の巨�j(lu┛)なEUVリソグラフィ����NXE3100を導入している。「われわれはムーアの法�Г��Vまらないと考えている」(同��)として、22/20nmの次は14nm、11nmノードへと微細化を進めていく。

450mmウェーハではSEMATECHがウェーハバンク��(sh┫)式を�W(w┌ng)��して、CVDやエッチングなど個別プロセスの�h価を行っている(参考�@料1)。450mmのウェーハを����に入れ、����の動作、使い�M�}、ウェーハ処理の�h価などさまざまな項�`をテストするためのウェーハを��し出す仕組みである。SEMATECHの450mmプロジェクトは、プロセスのインフラストラクチャを構築することに�R��している。

IMECは今�v、450mmを早期の段階でやるという���Tと��画を��した。「これまで300mmへのシフトでは�盜颪籠�本が先頭になって進めてきて、IMECは（��直言って）出��れた」(van den Hove��)ため、450mmは最初の段階から参加しようということを��めた。

2012�Qから始めるフェーズ1では、����のテストを行う工場を充実させる。現在完成させた450mm-ready工場は�W井が高く、450mmの����を設��できるという形を作った。ここに450mm�官�の����を入れ、モジュールを��(li│n)�Iし�h価する。2014�Qごろからプロセス開発を進め、「2015�Qにはトランジスタを試作できるようにしたい」とvan den Hove��は語る。フェーズ1は2015�Qごろに終わり、すぐにフェーズ2が始まる。ここでは、450mmプロセスの��ての工��を�h価できるようにデバイスのプロセス開発を進めていく。初期段階の少量�攵�が2016�Qごろから可�Δ砲覆�。フェーズ2の終了は2018�Qを予定している。

IMECが450mmプロセスで最優先することは、デバイスの価値を高め、コストをかけずにプロセスを作っていくこと、すなわち低コストプロセスの開発である。この��(sh┫)針はSEMATECHと共通だ。最�j(lu┛)の課��は、ウェーハハンドリングやインターフェースを�Y��化することで、これがなければ低コスト化はできない。

「IMECはSEMATECHと何とかして相��的な関係を築き、アルバニーでプロセス開発経�xを築きたい。SEMATECHとはまだ��式に契約を交わした�lではないが、われわれは常にアイデアをオープンにしている」とvan den Hove��は締めくくった。

参考�@料
1. 半導��の���]拠点はアジア�諒人里縫轡侫函△世�ら日本とアジアに�R�� (2011/04/18)