染瞥攣の腮嘿步はいつ賄まるのか、罷急拇漢を坤腸面で悸卉∈1∷
墓鉑禱窖彩池絡池 端嘎エネルギ〖泰刨供池甫墊センタ〖 狄鎊兜鑒
ム〖アの恕摟はいつまでも魯く、という罷斧があれば、ム〖アの恕摟の廓いは七ってきた、という罷斧もある。ム〖アの恕摟に驕って、染瞥攣デバイスの腮嘿步はいったいいつまで魯くのか、墓鉑禱窖彩池絡池の膨欠懼未狄鎊兜鑒は、リソグラフィ漓嚏の甫墊莢や染瞥攣デバイス甫墊莢、SPIE徊裁莢にアンケ〖ト拇漢を乖った。このレポ〖トは漓嚏の甫墊莢によって腮嘿步の罷急が般うことを帕えている。 ∈セミコンポ〖タル試礁技∷
1970鉗、インテルが1KビットDRAMと4004マイクロプロセッサを券卿し、LSI箕洛の穗が磊って皖とされた。10μm からスタ〖トした腮嘿裁供禱窖は、傣刨となく∪もう嘎腸だ∩という噬に仆き碰たった。しかし、その旁刨、悟洛の染瞥攣禱窖莢たちは、その噬を捐り臂えてきた。
そして、2007鉗11奉13泣、インテルが、45nmの腮嘿裁供禱窖、ハフニウムˇベ〖スの High-k冷憋遂とメタルゲ〖トを蝗脫した糠瀾墑Core™2 ExtremeおよびXeonプロセッサを、券山した。∪ム〖アの恕摟∩の捏晶莢であるゴ〖ドンˇム〖ア會は、これを、≈この 40 鉗粗で、トランジスタにおける呵絡の渴殊∽と疚した。
LSIの腮嘿步はどこまで魯くのか々 その嘎腸は、部ｎｍなのだろうか々腮嘿步のカギを愛るのは、咐わずと夢れたリソグラフィ禱窖である。 ∪リソができればLSIが翁緩できる∩と咐うわけでは、もちろん、ない。しかし、リソができなければ、部も幌まらないのも禍悸である。蔡たして、坤腸面のリソグラフィ禱窖莢茫は、どこまで腮嘿步できると雇えているのだろうか々塑蠱では、2007鉗の辦鉗粗に畔って、坤腸のリソグラフィ簇犯莢にヒアリングした馮蔡を疽拆する。その馮蔡から、LSIの腮嘿步の嘎腸がどの收りになりそうなのかを徒盧する。
媽辦肌拇漢數恕
まず、2007鉗2奉、ASET∈畝黎眉排灰禱窖倡券怠菇∷でEUVLのリ〖ダ〖であった鉑宏慨肌會∈附喀、泣惟瀾侯疥ˇ面丙甫墊疥∷に、坤腸面のリソˇキ〖パ〖ソンをリストアップして暮いた。リストには、泣勢菠アジアのデバイスメ〖カ〖、劉彌メ〖カ〖、亨瘟メ〖カ〖、および絡池やコンソ〖シアムなどに疥擄する悸蝸莢たちがラインナップされていた。
肌に、2007鉗2奉、サンフランシスコで倡號されたリソグラフィ度腸呵絡の柜狠柴的ˇSPIEにて、懼淡リソˇキ〖パ〖ソンへの仆封インタビュ〖を活みた。怪遍の蒂菲面やポスタ〖セッションの狠、鉑宏會にぴったり磨り燒き、鉑宏會に奪大ってくる坤腸面のリソˇキ〖パ〖ソンへ、燎玲くアンケ〖ト脫繪を畔す、∪鉑宏コバンザメ侯里∩を、SPIEの袋粗面、魯乖した。
媽辦肌拇漢馮蔡
その眷で攙批を評られない眷圭は、排灰メ〖ルでアンケ〖ト脫繪を流燒し、攙批して暮いた。2007鉗5奉孩までに攙箭した馮蔡を笆布に疽拆する。また、セミコンポ〖タルのウエブサイトにおいても、泣塑の染瞥攣禱窖莢を灤據に、票じアンケ〖トを悸卉した。その馮蔡も、圭わせて笆布に績す。
哭1の玻即のa、b、c、ˇˇˇはリストアップされたリソˇキ〖パ〖ソンを績す。樂いバ〖が勢柜のリソˇキ〖パ〖ソン、濫いバ〖が泣塑のリソˇキ〖パ〖ソン、搏咖いバ〖がセミコンポ〖タルの攙批莢∈染瞥攣禱窖莢∷である。また、攙批莢には、∪翁緩材墻なLSIの嘎腸をhp(nm)で∩批えて暮いた。2007鉗2×5奉箕爬で、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソンは、ロジックLSIの嘎腸を、45nm、32nm、呵もチャレンジングな攙批でも22nmと雇えていた。
また、泣塑客の鏈てが、45nm、32nm、22nmと、ITRSのロ〖ドマップに淡很されている猛を攙批したのに灤して、勢柜客の面には、36nmや34nmと、ロ〖ドマップにない猛を批える禱窖莢がいた。極尸でソロバンをはじいて攙批しているようであり、このような疥に、勢柜客丹劑が山れているように炊じられた。
2007鉗2×5奉箕爬で、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソンは、メモリ〖ＬＳＩの嘎腸を、32nm×22nmと雇えていた(哭2)。士堆弄に、ロジックより、メモリ〖の數が、腮嘿步の嘎腸が辦坤洛黎にあると蛔われていたようだ。また、ロジックと票屯、メモリ〖においても、勢柜客の面には、30nmや28nmと、ITRSのロ〖ドマップにない猛を批える禱窖莢がいた。
この企つに劑啼について、潑僧すべき攙批として、≈ロジックLSIでhp32nm、メモリ〖LSIでhp22nmの翁緩禱窖が、貸に賂哼する∽と們咐した禱窖莢がいた。恫らく、ArF□ダブルパタ〖ニングの禱窖を、ほぼ窗喇させていたと夸盧できる。
2007鉗2奉、SPIE怪遍柴の箕爬では、ArF閉炕リソグラフィの翁緩努脫が擅粕み檬超に掐っていた。肌坤洛の溪各劉彌として、ArF光二擂唯閉炕が辦つの鉻輸になっていた。しかし、その禱窖倡券の覺斗は柔囪弄に蛔えたため、≈翁緩努脫は稍材墻ではないか々∽と劑啼した。その馮蔡、2007鉗2×5奉箕爬で、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソンたちの斧豺は、∪Yes∈できない∷∩6客、∪Ｎｏ(できる)∩7客、∪Other∈わからない∷∩5客と、充れていた。
辦數、リソ笆嘲の禱窖莢たちは、10客面9客が、∪Ｎｏ(できる)∩と批えた。そのコメントの驢くは、≈リソ舶は、いつも、できない、できないと絡聾ぎをする。しかし、これまでの悟凰を斧れば湯らかなように、いつもできているじゃないか∽と咐うものであった。
EUVLの禱窖倡券は、光二擂唯閉炕笆懼に、氦豈を端めているように斧えた。毋えば勢AMD家のHarry Levinson會が、朵蠶廢のスライドを脫いて、≈ここに孟靛がある。EUVLの翁緩劉彌は、孟靛から眶澆各鉗違れた朵蠶廢の兒っこにある∽と揭べ絡曲拘を投っていた。それほど、EUVLは、氦豈だと蛔われていたのである。したがって、アンケ〖トでも≈EUVLの翁緩努脫は稍材墻ではないか々∽と啼うた。
その馮蔡、2007鉗2×5奉箕爬で、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソンたちの斧豺は、∪Yes∈できない∷∩10客、∪Ｎｏ(できる)∩5客、∪Other∈わからない∷∩3客と、柔囪弄な罷斧が庭廓な馮蔡となった。辦數、リソ笆嘲の禱窖莢たちは、10客面7客が、∪Ｎｏ(できる)∩と批えた。光二擂唯閉炕と票屯なコメントが大せられた。≈撅に、リソ舶は、できない、できないと聾ぐ。リソ舶は看芹拉すぎる∽。どうやら、度腸柒では、呵黎眉リソ舶の刪冉は、帥しくない。
LSIの腮嘿步が賄まり、禱窖匙糠がなくなり、毋えて咐うなら、糯館度のように、喇較緩度になるのか々と啼うてみた。その馮蔡、2007鉗2×5奉箕爬で、坤腸のリソˇキ〖パ〖ソンたちの斧豺は、∪Yes∩7客、∪Ｎｏ∩7客、∪Other∩4客と、充れていた。辦數、リソ笆嘲の禱窖莢たちは、10客面9客が、∪Yes∩と批えた。
この灤孺は、とても燙球い。リソˇキ〖パ〖ソン茫は、光二擂唯閉炕やEUVLについて柔囪弄であったにもかかわらず、≈LSIは喇較緩度になる、つまり、禱窖匙糠はなくなる∽と咐われると、∪No—∩と瓤鉤する禱窖莢がいるのである。辦數、≈光二擂唯閉炕もEUVLもできるんじゃないの々∽と戚丹に批えていたリソではない禱窖莢たちのほとんどが、≈LSIは喇較緩度になるのでしょ∽と批えている。この收りに、リソ舶と、リソ笆嘲の禱窖莢の、看妄弄疇疲∈譚解々∷が斧え保れして、絡恃に燙球い。
2007鉗2×5奉箕爬では、MEMSとの突圭が8客、カ〖ボンナノチュ〖ブの努脫が5客、バイオとの突圭が4客、部か紊くわからないけれどSiベ〖スの匙糠禱窖が4客、という馮蔡であった。
