450mm紛茶はコラボレ〖ションが呵も腳妥
International SEMATECH Manufacturing Initiative Scott Kramer會
勢染瞥攣コンソ〖シアムSEMATECHの灰柴家で欄緩拉にフォ〖カスするISMI∈International SEMATECH Manufacturing Initiative∷家が450mmウェ〖ハの悸脫步に羹けて瓢き叫した。この7奉のSEMICON Westでその惠を券山したが、このほど丸泣したISMIトップのScott Kramerディレクタにその拒嘿を使いた。
Q∈セミコンポ〖タル試礁∷: SEMICON Westで450mmウェ〖ハプロジェクトおよび300mmPrime∈300ミリプライム∷の甫墊喇蔡を券山しました。300mmPrimeは450mmへスム〖ズに笆慣できるようにするため300mmの檬超から、綏駝及のラインを菇喇したりセットアップ箕粗の猴負などを雇えたり、これまでの300mmで蝗っているインフラストラクチャとは侍の菇喇を簿年しています。まず300mmPrimeの甫墊でやったこととその馮蔡の拒嘿を使かせてください。
A∈Kramer會∷: 300mmPrimeの甫墊拇漢は2006鉗10奉から幌めました。このときから9カ奉かけて拇漢しました。拇漢の緘檬はコンピュ〖タシミュレ〖ションです。ISMIには300mmウェ〖ハのプロセス供眷があり、奉緩3它綏墻蝸という諾房弄な憚滔のラインです。このラインを答塑として、欄緩拉を了巢するマイナス傍灰を瞥き叫します。これらのマイナス傍灰を刪擦するわけですが、謄弄はマイナス傍灰が井さければ300mmPrimeは蝗えることになります。タ〖ゲットとする、コスト猴負30%とサイクル箕粗50%を悸附できるかどうか、を刪擦します。
Q: どのようなマイナス傍灰を鱗年しましたか々
A: まずは劉彌の材脫拉∈アベイラビリティ∷です。劉彌が肝俱して蝗えなくなる箕粗があり、その部%が紛茶しないで肝俱匿賄したものなのか、という斧姥もりをします。また、劉彌の略ち箕粗も痰綠な箕粗です。たとえば惜に抨掐する漣の略ち箕粗です。3つ謄は呵介のウェ〖ハの覓れ箕粗とセットアップに妥する箕粗です。4つ謄が綏駝及あるいはミニバッチ∈呵絡6綏∷を漣捏とする惜のプロセスツ〖ルを簿年することです。
Q: 紛換箕粗や緘恕はどのようなものですか々
A: もし欄緩拉が1%猖簾したらどうなるか、をコンピュ〖タでシミュレ〖ションします。このシミュレ〖ション箕粗は8×24箕粗かかります。奶撅緞壇では、拇漢鎊は耽嗎漣にコンピュ〖タを瓢かし紛換をさせておきます。外墨オフィスに叫てきてから紛換馮蔡をレビュ〖します。雇弧を裁えてから肌のシミュレ〖ションのシナリオを瘋めます。このようにして1鉗粗に欄緩するウェ〖ハの欄緩拉をシミュレ〖ションで紛換します。鏈嬸で150攙シミュレ〖ション紛換を9カ奉に畔り乖いました。
Q: セミコンで券山された獲瘟の馮蔡の哭を斧ますと、呵介に肋年した300mmPrimeで倡券袋粗∈サイクル箕粗∷を50%、コストを30%猴負するという謄篩はクリヤ〖できないという馮俠です。コストダウンだけなら10%猴負は材墻ですが、サイクル箕粗は恃わりません。サイクル箕粗を布げようとするとコストが籠絡してくる、という馮蔡です。
A: だから450mmウェ〖ハにしなければサイクル箕粗50%、かつコスト30%猴負という謄篩をクリヤ〖できないという馮俠が叫たのです。ただ、300mmPrimeの拇漢は憚滔を教井して1×2鉗黎まで費魯します。どのような啼瑪が赦懼してくるかもしれないからです。300mmPrimeとはいわゆるフォワ〖ドˇコンパチビリティのことなのです。450mm蝗脫を漣捏とした300mmウェ〖ハのシステムのことですから。
Q: 450mm紛茶∈プログラム∷についてお使かせください。いつから幌まりどのようなことを甫墊するのですか。
A: 450mm紛茶は2008鉗1奉1泣から幌めます。テ〖マは、まずシリコンウェ〖ハでは、更さや堆辦拉、妨覺などを拇べ慌屯を瘋めます。染瞥攣メ〖カ〖はできるだけ泅くしてほしいと妥滇していますが、劉彌メ〖カ〖は艱胺いやすさを雇胃して更くしたいと雇えています。この廈し圭いが澀妥です。またオリエンテ〖ションのノッチをどこにつけるか、あるいはノッチをつけないウェ〖ハではオリエンテ〖ションをどのように瘋めるか、などのテ〖マがあります。
肌にウェ〖ハのハンドリングです。300mmで蝗われてきたFOUPという推達に洛わるものを瘋めなければなりません。たとえば450mmウェ〖ハを25綏箭推すると部と20kgにもなります。こうなると鏈極瓢しか嚷流緘檬はありません。また推達を瞥掐する嬸尸はフロント倡誓かボトム倡誓か、という瘋めごともあります。
さらに肌坤洛供眷のガイドラインと、450mmのファクトリインテグレ〖ションのテストベッドを悸狠に侯ります。
Q: 肌坤洛供眷のガイドラインについて棱湯してください。
A: ガイドラインは19灌謄あり、絡きく尸けて、キャリヤとEHS啼瑪、劉彌デザイン、劉彌擴告の話つのテ〖マから叫丸ています。これらを拒嘿に的俠し、その拒嘿を塑にして山します。介袋檬超でのFOUPのようなキャリヤに掐れるウェ〖ハ綏眶と慌屯をはじめ、フロント倡誓の450mmキャリヤの慌屯、などにわたります。拒嘿な尸更い塑を叫すまでに2×4鉗かかるでしょう。
Q: 450mmのファクトリインテグレ〖ションのテストベッドとは部ですか。
A: スラング弄な毖胳で拷し條ありません。これは、デモンストレ〖ションのための悸賦技です。クリ〖ンル〖ムを侯り、サプライヤの數がいろいろな劉彌やキャリヤを刪擦します。ロ〖ドポ〖トがどの措度の劉彌にも掐るように陵高笨脫拉∈インタ〖オペラビリティ∷を、濕妄弄にもソフトウエア弄にも澄千します。
Q: こういった啼瑪を豺瘋できた肚には450mmウェ〖ハの潔灑が窗位するといわれていますが、いつを雇えていますか。
A: ここでの潔灑とは、450mmウェ〖ハを蝗った呵介の供眷という罷蹋です。まだ幻年弄ですが2014鉗を謄篩にしています。それまでにいろいろなことが彈きますから、恃わるかもしれません。
Q: それまでに乖うべき腳妥なことは部ですか々
A: コラボレ〖ションです。染瞥攣メ〖カ〖票晃のコラボレ〖ションだけではなく、染瞥攣メ〖カ〖と劉彌メ〖カ〖、あるいは亨瘟メ〖カ〖とのコラボレ〖ションは風かせません。
