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グローバル企業とだけではなく、日本のEIDECともコラボレーションしたい

Luc van den Hove(hu━)、ベルギーIMEC CEO

ベルギーのルーベンを本拠とするIMECが今Qもメディアを集めたITF(IMEC Technology Forum)を開した。その開期間中、セミコンポータルはCEOのLuc van den Hove(hu━)にインタビューし、IMECの`指すもの、これからの成長のカギを曚襪發痢△修譴妨けた仕組み作り、などについて聞いた。

図1 IMEC CEOのLuc van den Hove(hu━)

ベルギーIMECのCEO Luc van den Hove(hu━)


Q(セミコンポータル集長):IMECは昨Q、k昨Qあたりから半導プロセスよりも設や応にを入れているように見えます。今Q、来Qの_点テーマは何ですか。
A(CEO Luc van den Hove(hu━)):IMECはj(lu┛)きな研|開発会社であり、広い分野を扱いますが、にCMOS集積v路の先端\術開発が最もj(lu┛)きな霾をめます。次世代リソグラフィや、FINFETのような新トランジスタの念、新材料、さらに次の高‘暗戰妊丱ぅ后III-V化合馮焼W(w┌ng))、3次元ICなどを進めています。300mmウェーハ工場やその先の450mmについても研|しています。
応としては、ワイヤレス‘通信や、バイオメディアカル分野、画機Ρ欺萢、エネルギーなどの分野があります。こういった応分野に瓦靴董\術のコアとなる半導\術を構築して、新しい成長分野を切り開くのです。半導を核にすることが基本戦Sであり、この戦Sはこれからも変わりません。

Q:2009Qのリーマンショックは半導噞にj(lu┛)きな影xを及ぼしました。IMECの業績は2008Q、2009Qとほとんどフラットになっておりますが、この経済e(cu┛)機をどう乗り切りましたか。
A:2009QはとてもZしかったのですが、2008Qとほぼ同じレベルの売(予Q)を屬靴泙靴拭sHくのメーカーは20%〜30%も下がりましたので、売屬鬟ープすることは良い(sh┫)でした。に、IMECの売り屬欧僚j(lu┛)きな霾をめていたドイツのキモンダ社が倒したことはつらかったです。この欧νkのDRAMメーカーによる落ち込みをうためにMたちは、ソーラー\術のパートナーを求め、さらにファブレス半導企業の参加によってこの落ち込みをカバーしました。

Q:IMECのような半導コンソーシアムはフランスのLETIやドイツのフラウンホッファ研|所でも見られますが、IMECはそれらとどう違いますか?
A:IMECは真にインターナショナルなR&Dコンソーシアム機関です。LETIやフラウンホッファとは違い、日本やf国、湾、盜颪離肇奪廛瓠璽ーとk緒にコラボレーションしています。半導噞はグローバルなパートナーシップから成り立っており、世c中の企業が}をDり合ってMしいj(lu┛)きな問にDり組んでいます。LETIやフラウンホッファはそれぞれQ国の企業にRしています。
グローバルなコラボレーションはに_要ですが、その理y(t┓ng)はこれによって新しいアイデアを擇濬个垢海箸できるからです。

Q:グローバルなコラボレーションは盜颪SEMATECHでも同じです。SEMATECHと比べてその違いは何ですか。
A:他のコンソーシアムのことを完に理解しているlではありませんが、SEMATECHは半導\術のインフラUにフォーカスしています。IMECは半導メーカーの現場にpってコンセンサスをuたテーマにフォーカスし、材料、プロセス、デバイスにも幅広く言及しています。
さらにルーベンj(lu┛)学やルーベンカトリック教j(lu┛)学など地元のj(lu┛)学だけではなく実にHくのグローバルなj(lu┛)学ともコラボレーションをしており、学擇pけ入れています。
また、これからは複数の研|開発コンソーシアムとのコラボレーションも_要です。研|開発にはセカンドオピニオンがj(lu┛)切だからです。

Q:グローバルなコラボレーションでj(lu┛)切なことは何ですか。
A:IMECがj(lu┛)切にしていることは広いパートナーシップのネットワークと信(trust)です。IMECは日本にもフォーカスしてきました。日本企業とは長Qに渡り良好なネットワークを構築してきました。パナソニックやエルピーダメモリ、ルネサスエレクトロニクス、ソニー、東、富士通などの半導デバイスメーカーに加え、メーカーの東Bエレクトロンや、材料メーカーのJSR、東B応化工業、信越化学工業などとパートナーシップを築いてきました。欧Δ汎本の文化はZいものがあり、信をkにします。

Q:以i、日本の噞\術総合研|所やコンソーシアムとコラボレーションをするT志はj(lu┛)いにあると言われましたが、その後はいかがでしょうか。
A:IMECはいつもパートナーシップを求めてコラボレーションのディスカッションをしています。EUVの新しい日本のコンソーシアムであるEIDEC(EUVL Infrastructure Development Center)ともミーティングを数veち始めました。EUVを開発する屬如△い蹐い蹐淵灰薀椒譟璽轡腑鵑要なのです。IMECはASMLと協してスキャナーリソグラフィ\術にフォーカスしてきました。その光源に関して日本のウシオ電機と良好な関係をTんでいます。日本のEIDECはマスクインスペクションやマスクリペア\術がuTです。スキャナー\術とマスク\術は相的な関係にありますので、両社が同期をとって開発することが実化を早めます。Mは、EIDECとの式なコラボレーションを望んでいます。

Q:今v、IMECはASMLと長期契約を交わしましたが、これまでの提携とは何が違うのでしょうか。
A:今vはこれから5Q間k緒にEUVを開発していくための(g┛u)新契約と考えてよろしいものです。次世代のスキャナーツールを開発したり、そのメトロロジーをk緒に開発したりしていきます。

Q:最後に、最Zの欧e(cu┛)機について景気動向をe(cu┛)ぶむmがあります。経済e(cu┛)機をどのように見ていますか。
A:マクロ経済のMしい問ですね。欧Δ漏里に財e(cu┛)機脱出に向けてもがきZしんでいますが、盜颪籠本でも同じような問をQえています。みんながe(cu┛)機に直Cしているわけです。しかし、(j┤ng)来の成長分野には投@をけるというIMECの(sh┫)針は変わりません。

(2010/10/17)
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