グローバル企業とだけではなく、日本のEIDECともコラボレーションしたい
Luc van den Hove��、ベルギーIMEC CEO
ベルギーのルーベンを本拠とするIMECが今�Qもメディアを集めたITF（IMEC Technology Forum）を開��した。その開��期間中、セミコンポータルはCEOのLuc van den Hove��にインタビューし、IMECの�`指すもの、これからの成長のカギを�曚襪發�、それに向けた仕組み作り、などについて聞いた。
ベルギーIMECのCEO Luc van den Hove��
Q（セミコンポータル��集長）：IMECは昨�Q、�k昨�Qあたりから半導��プロセスよりも設��や応��に��を入れているように見えます。今�Q、来�Qの�_点テーマは何ですか。
A（CEO Luc van den Hove��）：IMECは�jきな研�|開発会社であり、広い分野を扱いますが、��にCMOS集積�v路の先端�\術開発が最も�jきな�霾�を��めます。次世代リソグラフィや、FINFETのような新トランジスタの��念、新材料、さらに次の��高�‘暗戰妊丱ぅ后�III-V化合�馮焼����W��）、3次元ICなどを進めています。300mmウェーハ工場やその先の450mmについても研�|しています。
応��としては、ワイヤレス�‘���通信や、バイオメディアカル分野、画�機Ρ��欺萢�、エネルギーなどの分野があります。こういった応��分野に�瓦靴�、�\術のコアとなる半導���\術を構築して、新しい成長分野を切り開くのです。半導��を核にすることが基本戦�Sであり、この戦�Sはこれからも変わりません。
Q：2009�Qのリーマンショックは半導���噞に�jきな影�xを及ぼしました。IMECの業績は2008�Q、2009�Qとほとんどフラットになっておりますが、この経済�e機をどう乗り切りましたか。
A：2009�Qはとても�Zしかったのですが、2008�Qとほぼ同じレベルの売��(予�Q)を���屬靴泙靴拭ｓHくのメーカーは20%〜30%も下がりましたので、売�屬鬟�ープすることは良い�気任靴�。��に、IMECの売り�屬欧僚jきな�霾�を��めていたドイツのキモンダ社が倒��したことはつらかったです。この欧�ν��kのDRAMメーカーによる落ち込みを��うために�Mたちは、ソーラー�\術のパートナーを求め、さらにファブレス半導��企業の参加によってこの落ち込みをカバーしました。
Q：IMECのような半導��コンソーシアムはフランスのLETIやドイツのフラウンホッファ研�|所でも見られますが、IMECはそれらとどう違いますか？
A：IMECは真にインターナショナルなR&Dコンソーシアム機関です。LETIやフラウンホッファとは違い、日本や�f国、��湾、�盜颪離肇奪廛瓠璽�ーと�k緒にコラボレーションしています。半導���噞はグローバルなパートナーシップから成り立っており、世�c中の企業が�}を�Dり合って�Mしい�jきな問��に�Dり組んでいます。LETIやフラウンホッファはそれぞれ�Q国の企業に�R��しています。
グローバルなコラボレーションは��に�_要ですが、その理�yはこれによって新しいアイデアを�擇濬个垢海箸�できるからです。
Q：グローバルなコラボレーションは�盜颪�SEMATECHでも同じです。SEMATECHと比べてその違いは何ですか。
A：他のコンソーシアムのことを完��に理解している�lではありませんが、SEMATECHは半導���\術のインフラ�Uにフォーカスしています。IMECは半導��メーカーの現場に�pってコンセンサスを�uたテーマにフォーカスし、材料、プロセス、デバイスにも幅広く言及しています。
さらにルーベン�j学やルーベンカトリック教�j学など地元の�j学だけではなく実に�Hくのグローバルな�j学ともコラボレーションをしており、学�擇��pけ入れています。
また、これからは��数の研�|開発コンソーシアムとのコラボレーションも�_要です。研�|開発にはセカンドオピニオンが�j切だからです。
Q：グローバルなコラボレーションで�j切なことは何ですか。
A：IMECが�j切にしていることは広いパートナーシップのネットワークと信��（trust）です。IMECは日本にもフォーカスしてきました。日本企業とは長�Qに渡り良好なネットワークを構築してきました。パナソニックやエルピーダメモリ、ルネサスエレクトロニクス、ソニー、東��、富士通などの半導��デバイスメーカーに加え、����メーカーの東�Bエレクトロンや、材料メーカーのJSR、東�B応化工業、信越化学工業などとパートナーシップを築いてきました。欧�Δ汎�本の文化は�Zいものがあり、信��を���kにします。
Q：以�i、日本の�噞�\術総合研�|所やコンソーシアムとコラボレーションをする�T志は�jいにあると言われましたが、その後はいかがでしょうか。
A：IMECはいつもパートナーシップを求めてコラボレーションのディスカッションをしています。EUVの新しい日本のコンソーシアムであるEIDEC（EUVL Infrastructure Development Center）ともミーティングを数�v�eち始めました。EUVを開発する�屬�、いろいろなコラボレーションが��要なのです。IMECはASMLと協��してスキャナーリソグラフィ�\術にフォーカスしてきました。その光源に関して日本のウシオ電機と良好な関係を�Tんでいます。日本のEIDECはマスクインスペクションやマスクリペア�\術が�u�Tです。スキャナー�\術とマスク�\術は相��的な関係にありますので、両社が同期をとって開発することが実��化を早めます。�Mは、EIDECとの��式なコラボレーションを望んでいます。
Q：今�v、IMECはASMLと長期契約を交わしましたが、これまでの提携とは何が違うのでしょうか。
A：今�vはこれから5�Q間�k緒にEUVを開発していくための��新契約と考えてよろしいものです。次世代のスキャナーツールを開発したり、そのメトロロジーを�k緒に開発したりしていきます。
Q：最後に、最�Zの欧���e機について景気動向を�eぶむ�mがあります。経済�e機をどのように見ていますか。
A：マクロ経済の�Mしい問��ですね。欧�Δ漏里�に財���e機脱出に向けてもがき�Zしんでいますが、�盜颪籠�本でも同じような問��を�Qえています。みんなが�e機に直�Cしているわけです。しかし、��来の成長分野には投�@を��けるというIMECの�疑砲亙僂錣蠅泙擦�。
