SEMATECHのメンバ〖を籠やし染瞥攣メ〖カ〖とサプライヤとの灤廈を動(dòng)めたい
Daniel Armbrust會(huì)、CEO & President、SEMATECH
勢柜の染瞥攣コンソシアムのSEMATECHのトップが蛤侖した。2009鉗11奉12泣に艦扦したDaniel Armbrust會(huì)は20鉗笆懼、IBM哼酪していた。瀾隴嬸嚏、クライアント簇犯嬸嚏、イ〖ストフィッシュキル供眷では4鉗粗300mmウェ〖ハラインの倡券にも驕禍してきた。糠CEOとしてSEMATECHをどういう數(shù)羹へ積っていくか、インタビュ〖した。
SEMATECH CEOのDaniel Armbrust會(huì)
Q∈セミコンポ〖タル試礁墓 吶拍氟企∷¨まずはCEO艦扦おめでとうございます。セマテックの謄篩は部ですか。
A∈SEMATECHのCEO Daniel Armbrust會(huì)∷¨セマテックは20鉗笆懼に畔って染瞥攣度腸に棺弗してきました。呵介の謄篩は、勢柜の緩度腸の頂凌蝸を燒けることでした。肌にインタ〖ナショナルセマテックとして、嘲柜措度も徊裁するようにしました。そして海、EUV∈extreme ultraviolet∷など經(jīng)丸の腳妥なリソグラフィ紛茶や、ISMI∈International SEMATECH Manufacturing Initiative∷、TSV∈through silicon via∷プロジェクトなどを緘齒けています。
そして諱の謄篩は、セマテックでのバリュ〖を染瞥攣度腸へもたらすことであり、メンバ〖も籠やしていきたいと蛔っています。染瞥攣メ〖カ〖だけではなく、劉彌メ〖カ〖などへと橙絡(luò)していきたいと蛔います。
Q¨この漣ニュ〖スリリ〖スで券山された澎疊エレクトロンの徊裁もその辦茨ですか。
A¨その奶りです。チップメ〖カ〖と劉彌メ〖カ〖との泰儡な簇犯は腳妥です。セマテックは面惟の惟眷ですので、尉莢が灤廈しやすい茨董を侯っています。海攙、澎疊エレクトロンが、セマテックとの簇犯を橙絡(luò)してくれたことはうれしく蛔います。
澎疊エレクトロンは、300mmウェ〖ハ禱窖を姥端弄に渴めているアルバニ〖に絡(luò)きな抨獲をしてくれました。
Q¨ 450mmプロセスの倡券についてアルバニ〖では迫極に部か乖っていますか。
A¨アルバニ〖ではISMIの面で慌禍を渴めています。450mmにつなげるためにまず300mmの篩潔步を渴め、300mmプロセスをさらに券鷗させようとしています。海の謄篩は窗鏈な劉彌セットを倡券する侯度紛茶を惟て、これを450mmに蝗えるかどうかのフィ〖ジビリティをデモしようと雇えています。さらに、海は450mmプロジェクトには蠟紹からの獲垛はありませんが、蠟紹にも辯錦してもらいメンバ〖カンパニ〖のやる丹を裁廬させたいと蛔います。
Q¨セマテック極咳は蠟紹の辯錦はありますか。
A¨息水蠟紹(柜踩)からの辯錦はありませんが、ニュ〖ヨ〖ク劍蠟紹から叫獲してもらっています。海アルバニ〖の倡券覺斗はフェ〖ズIが姜わり、フェ〖ズIIに掐っています。フェ〖ズIIは2012鉗に姜わる5カ鉗紛茶です。
Q¨2012鉗と咐えばEUVリソグラフィの瞥掐箕袋ではありませんか。
A¨そうです。450mmウェ〖ハのパイロットラインの窗喇とEUVリソグラフィの瞥掐とは票じ箕袋になります。オランダのASMLとお廈していると、プリプロダクションツ〖ルが掐緘材墻になるのが2012鉗だと券山しています。その孩になると、欄緩ラインはがらりと恃わるでしょう。
そのためにセマテックはリソグラフィプロセスのインフラを潔灑します。溪各劉彌だけではなく、マスクとマスク浮漢劉彌も猖紊しなければなりません。このためにはチップメ〖カ〖とマスクメ〖カ〖、ツ〖ルメ〖カ〖が辦斤になったコンソシアム弄なアプロ〖チが澀妥です。マスクはこれまでとは鏈く佰なり、浮漢劉彌の各富にもEUVが澀妥となります。2010鉗の媽1煌染袋に浮漢劉彌を侯ることで稱家の圭罷を評たいと蛔います。
450mmの輝眷はさほど絡(luò)きくありませんが、まだ3家しかチップメ〖カ〖はいません。リソインフラを侯るだけでも眶紗帛ドルかかるかもしれません。リスクの絡(luò)きなプロジェクトですので、マスク/インスペクション/リソグラフィというコンソシアム弄なアプロ〖チは風(fēng)かせません。諱たちはグロ〖バルな徊裁に袋略しており、泣塑からも徊裁措度が籠えることを袋略しています。むしろこのために泣塑に丸ました。
フォトレジストに簇しては弛囪渾しています。レジストの啼瑪は企つあります。辦つはもっと炊刨を懼げ欄緩拉を懼げること、もう辦つはパタ〖ンの磊れLER∈line edge roughness∷を猖簾することです。
Q¨EUVの瞥掐は22nmから蝗われると蛔いますが。
A¨呵介の瞥掐はロジック脫に22nmから掐ると蛔います。絡(luò)緘デバイスメ〖カ〖はすでにテスト菇隴を侯っています。睹いたことにメモリ〖とロジックがほぼ票箕に叫てくるということです。スキャナ〖やマスクなどのインフラが2012鉗に叫丸懼がる徒年のためでしょうが、馮渡コストとのトレ〖ドオフの啼瑪に耽馮すると蛔います。コストは撅に罷急します。
Q¨450mmは300mmとはどう般いますか。
A¨450mmと300mmは擊ているところと般うところがあります。擊ているところは、篩潔步と極瓢步でしょう。450mmの里維は300mmとの般いをできるだけ警なくすることでしょう。このために300mmの啼瑪を海のうちに豺瘋しておくことが腳妥です。450mmのデザインの謄篩は300mmをベ〖スに雇えていきます。450mmの啼瑪は馮渡、禱窖弄というよりは沸貉弄な啼瑪でしょう。沸貉弄な啼瑪はセマテックでの甫墊倡券が抨獲に斧圭うかどうかでしょう。セマテックの舔充は賴しいタイミングで緩度腸へ攫鼠を捏丁することです。
450mmでは染瞥攣緩度鏈攣がシフトしないことです。コストを雇えるとリスクが絡(luò)きく、ビジネスモデルが豈しいと蛔います。
A (SEMATECH vice president のScott Kramer會(huì))¨辦咐燒け裁えさせていただくと、ISMIが300mmライン菇蜜で池んだことですが、4鉗漣にI300Iコンソシアムでは300mmウェ〖ハに簇する概い攫鼠を辦欄伏炭甫墊しました。この馮蔡、あらゆる腳妥な瘋年が海攙の數(shù)恕とは鏈く般うやり數(shù)でなされていました。だから300mmで池んだことですが、海攙の450mmでは呵介から篩潔步することに艱り寥みました。そのためにITB∈陵高笨脫拉のあるテストベンチ∷を侯り、篩潔步のためのデ〖タを箭礁することを腳渾しました。これによって極瓢步システムを刪擦できます。毋えば、FOUPに掐れるウェ〖ハ粗のピッチを8×10mmで浮皮していましたが、馮渡デバイス瀾隴の惟眷から12mmピッチが呵も紊いことがわかりました。
Scott Kramer會(huì)は寶婁
ISMIはこれからもデバイスメ〖カ〖と辦斤に的俠しながらデ〖タを拇べ、300mmから450mmへスム〖ズに敗乖できるようにリソ〖スをセ〖ブしていきたいと蛔います。
ISMIは瀾隴劉彌倡券に驢眶のサプライヤと經(jīng)丸の劉彌についても浮皮しています。テストウェ〖ハを侯るための劉彌であり翁緩脫の劉彌ではありません。ISMIは劉彌だけではなくウェ〖ハキャリヤや嚷流ロボットなど驢くのサプライヤにも定蝸してもらい、染瞥攣笆嘲の緩度からもソリュ〖ションを叫していただけるところにリソ〖スを充くつもりです。
ISMIメンバ〖3家の染瞥攣メ〖カ〖はテストの回篩や拉墻回篩を倡券し、劉彌メ〖カ〖などのサプライヤと灤廈しながら劉彌倡券を低めていきたいと蛔います。染瞥攣メ〖カ〖とサプライヤとの灤廈が部よりも腳妥です。これまでもサプライヤとの灤廈の面からISMIはいろいろなことを池びました。これからも灤廈を魯けていきたいと蛔います。そのためにも柜董を臂えてグロ〖バルな定蝸が風(fēng)かせません。
