瀾隴禱窖で腳妥拉を籠すソフトウエア禱窖、AEC/APC Symposiumプレビュ〖
染瞥攣瀾隴プロセスにおいてソフトウエアが絡(luò)きな賂哼を貍めるようになってきた。AEC/APC Symposium Asia 2013では、擦猛ある豺老とイノベ〖ティブな紛盧擴(kuò)告禱窖をテ〖マとする。瀾隴プロセスに馮蔡を徒盧するアルゴリズムを劉彌柒に寥み掐れ、バラつきの警ないプロセスを侯り叫すことが晾いである。VM∈Virtual Metrology)と鈣ぶ簿鱗盧年禱窖が海攙廟謄される。
哭1 冊(cè)殿のAEC/APC Symposiumの滔屯
AEC∈Advanced Equipment Control∷/APC∈Advanced Process Control∷は染瞥攣瀾隴プロセスのバラつき恃瓢や沸箕恃步などをフィ〖ドフォワ〖ドなどによって擴(kuò)告する禱窖や劉彌。フィ〖ドバックは叫蝸婁に附れたデ〖タを答に、恃瓢を娃えるようにパラメ〖タを瓢かし堆辦拉を澄瘦する禱窖であるが、フィ〖ドフォワ〖ドは叫蝸に附れるであろう恃瓢を徒盧して、叫蝸恃瓢を慮ち久す禱窖である。染瞥攣プロセスは、劉彌柒で喇遂やエッチングを乖うが、叫てくる馮蔡∈遂更の堆辦拉や泅遂の近殿翁など∷を徒め徒盧し、評(píng)られそうな馮蔡を拇臘して堆辦拉を澄瘦しようとするAPC禱窖が附悸に稍材風(fēng)になってきた。
このAPCやフィ〖ドフォワ〖ドでは、濕妄附據(jù)をモデル步し、劉彌が欄み叫す馮蔡を徒盧し、供度弄に堆辦なものができるように劉彌を拇臘する。
海攙の廟謄は盧年禱窖だ。喇遂やエッチングなどによって裁供した潰恕を夸年する。賴澄な潰恕盧年は、墑劑の光い瀾墑を欄み叫すが、盧年するために箕粗がかかるため、翁緩ではできれば蝗いたくない。しかし、附悸には賴澄に盧年しなければ墑劑瘦沮はできないため、鏈眶浮漢ではなくサンプリングによって盧年している。
賴澄な裁供潰恕は瀾隴劉彌から欄まれる。劉彌柒のプラズマや步池濕劑などをモデル步し夸年する條だが、借妄するウェ〖ハ眶を籠やしていくにつれ、バラつきが絡(luò)きくなっていったり、晾い奶りの潰恕が評(píng)られにくくなったりすると、モデルのパラメ〖タを恃えながら拇臘する。釣推認(rèn)跋を畝えそうになると劉彌チャンバ柒を麗爵し、介袋覺(jué)輪を浩附するとモデルもまた餞賴する。
こういったフィ〖ドフォワ〖ド擴(kuò)告により、潰恕の堆辦拉を澄瘦し、佰撅を玲袋券斧し餞賴できるようになる。こういった擴(kuò)告に稍材風(fēng)な嬸墑はセンサだ。ただ、センサのハ〖ドウエアだけではなく、センサからの慨規(guī)をトレ〖スし、慨規(guī)僑妨の拉劑をモデル步などで眶猛紛換として山附するソフトウエア禱窖も腳妥になってくる。
海攙のシンポジウムでは、チュ〖トリアルセッションとして、交艇步池のYoshida Hideaki會(huì)が≈Applications of Soft-Sensing Technology in Chemical Industries∈步池供度におけるソフトセンシング禱窖の炳脫∷∽と瑪して怪遍する。步池供度においてもセンサからのアルゴリズム倡券がカギとなるようだ。紛盧ではセンサがカギを愛(ài)るが、緩度禱窖另圭甫墊疥は≈Acoustic Emission Method of Detection of Micro-arc Discharge Around a Wafer∽∈ウェ〖ハ件跋のマイクロア〖ク庶排を浮叫するアコ〖スティックエミッション禱窖∷と瑪してマイクロア〖ク庶排のセンサ禱窖について怪遍する。
辦忍のオ〖ラル怪遍では戮に、ソニ〖が≈The VM/APC activities in Sony Semiconductor∽∈ソニ〖染瞥攣におけるVM/APCの寵瓢∷、パナソニックは≈Improvement of Overall Equipment Efficiency by Virtual Metrology using Equipment Data in Reactive Sputtering of Titanium Nitride∽∈免步チタンの瓤炳拉スパッタリングにおける劉彌デ〖タを蝗った簿鱗紛盧によって鏈劉彌跟唯を猖簾∷とそれぞれ瑪して、VM禱窖について鼠桂する。
ソフトウエア禱窖の辦つだが、Applied Materialsは、瀾隴プロセスで評(píng)られる四絡(luò)なデ〖タをビッグデ〖タとして艱り胺う數(shù)恕についても浮皮している。≈Big Data; Big Potential for Semiconductor Manufacturing Productivity Improvement ∽∈ビッグデ〖タ〃染瞥攣瀾隴の欄緩拉を猖簾するビッグな材墻拉∷と瑪して怪遍する。
