ミニマルファブ、LED各富のリソ劉彌でMEMSカンチレバ〖を侯瀾
ミニマルファブのプロジェクトが寥駿步され、候鉗12奉のセミコンジャパンにおいて介めて劉彌のモックアップが鷗績された。海どこまで渴鷗したのか。その媽1攙の鼠桂柴とも咐うべき≈ミニマルファブˇシンポジウム2013∽が澎疊墑李で倡號された。
哭1 ミニマルファブの劉彌は廠票じ絡きさ 叫諾¨ミニマルファブプロジェクト
ミニマルファブプロジェクトは、警翁驢墑鹼の染瞥攣ICを侯ることを謄弄として欄まれた。木仿0.5インチ(1.27cm)のSiウェ〖ハ碰たり1改のチップを欄緩するという、畝カスタマイズされた染瞥攣欄緩システムだ。このコンセプトを悸附しようとして欄まれた寥駿が≈ミニマルファブプロジェクト∽である。
このシンポジウムでは2鳳の答拇怪遍の稿、ミニマルファブのコンセプトを票プロジェクト洛山の付凰蝦會、その渴慕覺斗をミニマルファブ禱窖甫墊寥圭プロセス倡券チ〖ムサブリ〖ダ〖のクンプアンˇソマワン會がそれぞれ券山した。ミニマルファブでは、渡疥クリ〖ンというコンセプトの劉彌を蝗う。この劉彌は、どのプロセスでも鏈く票じ嘲妨潰恕に憚年している(哭1)。稱劉彌にはロ〖ドロック數及の徒灑技PLAD∈Particle Lock Air-tight Dock∷があり、そこと塑チャンバをゲ〖トバルブで甲們している。徒灑技からチャンバへウェ〖ハを流る箕だけゲ〖トバルブを倡く。
ソマワン會は、倡券してきたリソグラフィプロセスについて券山した。この面で、レジストの派邵稍堆辦を豺久するため、ウェ〖ハのエッジに摧みを燒け、ウェ〖ハ件跋でレジストが更くなることを松いだと揭べた(哭2)。ただ、染瞥攣度腸ではウェ〖ハのベベリング侯度は糠しい廈ではない。また、リソ劉彌ではLED各富を脫い、各池廢にMEMSプロセスで瀾隴するDMD∈Digital Mirror Device∷を脫いた(哭3)。これによって井房步が哭れる。附覺は、1μm/1μm鎳刨の俐升/俐粗持を閃く鎳刨である。UV LED各富と各池廢では365nmの葷嘲俐各富を鱗年すると0.55μm鎳刨が嘎腸だとソマワン會はいう。腮嘿步しなくてもすむような脫龐を晾う。
哭2 レジスト稍堆辦拉を豺久 叫諾¨ミニマルファブプロジェクト
哭3 ミニマルファブのリソ劉彌 叫諾¨ミニマルファブプロジェクト
呵介の活侯で、MEMSのカンチレバ〖を瀾隴したという。Ti/PtメタルにPZTの暗排燎灰を妨喇した泅遂を積つMEMSである。Siウェ〖ハから幌まり200供鎳を沸てデバイスを活侯した。MEMSのパタ〖ンは、マスクレスプロセスを蝗い、DMDでスキャニングしながら閃く。ただし、スパッタやCVD、エッチングなどの劉彌はまだ窗喇していないため、貸賂の4インチ灤炳劉彌も蝗う、ハイブリッドプロセスで侯瀾した。
海攙のセミナ〖柴眷では、怪遍だけではなく劉彌倡券のパ〖トナ〖措度の鷗績もあった。劉彌そのものは、刻刨7の孟刻にも卵えるように蓋年され、肋彌眷疥のフックとの疤彌瘋め籃刨は∞0.3mmと光い。劉彌の妨覺は鏈く票じに琵辦しているだけではなく、劉彌漣燙のLCDディスプレイパネルのGUI∈グラフィカルユ〖ザ〖インタフェ〖ス∷も鼎奶にしている。このプロジェクトには、GUI倡券のソフトウエアメ〖カ〖や寥み哈みソフトメ〖カ〖なども徊裁している。
答拇怪遍でMEMSの炳脫について廈した澎頌絡池マイクロシステム突圭甫墊倡券センタ〖墓の咕簧賴搭兜鑒は、≈ミニマルファブは辦つの腳妥な數羹であるが、フレキシビリティを積たせることが絡禍で、毋えばいろいろなものにも灤炳できる嚷流廢が司ましい∽とQ&Aでコメントを揭べた。もう辦客の答拇怪遍莢であるロ〖ムの撅壇艱涅舔の光寇建渾會は≈MEMS禱窖で侯るマイクロ萎烯∈TAS∷や板聞怠達はできるだけ井房步したいという妥滇があり、これにはミニマルファブが羹いている∽と揭べた。
ミニマルファブは、1チップのプロセスステップを200供鎳とすると、1供鎳1尸の借妄箕粗を鱗年し、チップ侯瀾まで200尸かかると付會は斧姥もっている。だからと咐って翁緩に羹かない條ではないと付會は咐う。呵介のウェ〖ハを抨掐したら1尸稿に2戎謄のウェ〖ハを抨掐、これを魯ければ、200尸で1改だが400尸で200改のチップができると肩磨する。ただし、1尸で叫丸る供鎳を鱗年する辦數で、RTA∈ラピッドサ〖マルアニ〖ル∷ではなく、驕丸の佬毖ボ〖ト數及の鳥鉤裁錢數及を渴めており、1尸という箕粗は茫喇が豈しそうだと度腸ではみている。供鎳粗のつなぎも崔めた箕粗としても1尸という箕粗を海稿浮皮する途孟はあるが、票會のパイプライン弄なプロセスでは奉緩眶1000改は紛換懼いけるかもしれない。
