ASML家の動(dòng)さの入諷
票恢家絡(luò)池 ITEC甫墊センタ〖 COEフェロ〖
墓鉑禱窖彩池絡(luò)池 端嘎センタ〖 狄鎊兜鑒 膨欠懼未
染瞥攣の腮嘿步が賄まるかもしれない∈廟1∷。もし、賄まったらどうなるのだろう。染瞥攣劉彌メ〖カ〖はどうなる々染瞥攣デバイスメ〖カ〖はどうなる々デバイスを面乘嬸墑にすえるPC、啡掠排廈、デジタル踩排、クルマ霹のセットはどうなる々これらセットを蝗うユ〖ザ〖、つまり諱も崔めた客梧の踏丸はどうなるのだろう々∈廟2∷
このような甫墊草瑪を痘に入め、７奉16泣から9奉2泣まで、48泣粗をかけて坤腸辦件をしてみた∈廟3∷。その粗、染瞥攣簇息措度を面看に13カ柜、40家を爽啼した∈廟4∷。その面で、呵も磅據(jù)弄な爽啼はどこかと啼われたら、搪わずオランダのASML家を刁げる。磅據(jù)弄というよりも、動(dòng)熙なインパクトを減けたと咐った數(shù)が賴澄だ。ASML家を爽啼した屜は、秒粗のファブツア〖を瓤珥して、なかなか灘りにつくことができなかった。
ASML家は、坤腸で呵も光擦な籃泰怠常である溪各劉彌の漓度メ〖カ〖である∈廟5∷。染瞥攣瀾隴劉彌メ〖カ〖の卿懼光ランキングを斧てみると、1996鉗にトップ10掐りしている∈哭1∷。その稿、締廬に界疤を懼げて乖き、2002鉗笆慣は3疤をキ〖プしており、2疤のTEL∈澎疊エレクトロン∷に納いつきそうな廓いである。
劉彌度腸では、1992鉗から2000鉗まで、AMAT∈アプライドマテリアルズ∷、TEL、ニコンの話動(dòng)の箕洛が魯いた。2002鉗笆慣は、AMAT、TEL、ASML話動(dòng)の箕洛に仆掐したと咐える。稱鉗髓の卿懼光を斧ても、この3家が仆叫していることが尸かる∈哭2∷。
肌に、溪各劉彌尸填における輝眷シェアを斧てみよう。駱眶ベ〖スでは、1990鉗洛介めまで、ニコンとキヤノン圭わせて坤腸の90◇笆懼のシェアを迫貍していた(哭3)。ところが、附哼は、ASMLがトップに惟った。また、卿懼光ベ〖スのシェアでは、ASMLが50◇を畝えるシェアを貍めている∈哭4∷。つまり、ASMLの溪各劉彌は、ニコンおよびキヤノンより帽擦が光いにもかかわらず卿れているということになる∈廟6∷。
このASML家の讒渴封の入諷はどこにあるのだろうか。その攙批が、ASML家のファブツア〖から湯らかになった。その辦嬸を疽拆しよう。
ファブは、100鎳刨のセルから菇喇されている。辦つのセルで、1駱の溪各劉彌が寥み惟てられていく。このファブでは、i俐、KrF、ArF、およびArF閉炕、4鹼梧の溪各劉彌が寥み惟てられているという。稱セルには、懼淡4鹼梧の劉彌のさまざまな寥み惟て龐面の檬超が斧て艱れた。
睹いたことが企つある。
まず、どの溪各劉彌もほとんど票じように斧えたことだ。そのことを劑啼すると、≈i俐、KrF、ArF、およびArF閉炕、鏈て票じプラットフォ〖ムだ∽と咐う批えが手ってきた。
構(gòu)に、坤腸辦光擦な籃泰怠常を寥み惟てている充には、匡尸客が警ない。僧莢は、ドライエッチング劉彌の寥み惟て附眷を眶驢く斧たが、それと孺秤しても匡尸警ない 。そこで、1駱部客で寥み惟てているのかと劑啼すると、なんと、≈One guy∽だと咐う—
恫らく、ASML家はトヨタのセル欄緩數(shù)及を何脫していると蛔われる。嬸墑のサプライチェ〖ン瓷妄もトヨタ數(shù)及ではないかと蛔われる。また、溪各劉彌を、炮駱、ステ〖ジ、レンズ廢、各富などのモジュ〖ルに尸充している。稱モジュ〖ルは、漓嚏の嘲嬸メ〖カ〖が瀾隴する。毋えば、レンズ廢はCarl Zeiss家が侯る。ASML家では、嘲嬸で侯られたモジュ〖ルのアッセンブルを乖う。
捌柒莢の廈によれば、溪各劉彌の85◇は家嘲で侯られ、ASML家が乖うのは荒りの15◇だという。ASML家とは、端俠すれば、∪アッセンブルメ〖カ〖∩であるとも咐える。そのアッセンブルする屯は、まさに∪姥み騰∩のようである— だから、≈One guy∽で澆尸ということだ。
ム〖アの恕摟で夢(mèng)られる奶り、染瞥攣デバイスは、3鉗で4擒礁姥刨を籠絡(luò)させてきた。それと鼎に、燎灰は70◇に腮嘿步されてきた。また、シリコンウエ〖ハは絡(luò)庚仿步し、芹俐亨瘟は你鳥鉤步のためにAlからCuに恃わった。このような禱窖の恃わり謄に、劉彌メ〖カ〖は、より光籃刨な劉彌を倡券し、捏丁してきた。
僧莢の夢(mèng)る嘎り、ほとんどの劉彌メ〖カ〖は、そのたびに、糠たな劉彌をゼロから侯っていたのではないかと蛔われる。毋えば、プラズマを蝗う喇遂劉彌やドライエッチング劉彌は、シリコンウエ〖ハが絡(luò)庚仿步するたびに、屈絡(luò)な倡券抨獲を乖って、これまでとは鏈く佰なる糠憚劉彌を捏丁してきた。
このような染瞥攣劉彌度腸の面で、ASML家の劉彌倡券里維は、端めて佰咖かつ圭妄弄である。ASML家の動(dòng)さの入諷は、i俐の溪各劉彌を肋紛する狠、その稿10鉗笆懼に畔って奶脫するプラットフォ〖ムを菇蜜したことにある。つまり、ASML家の海泣の未攔は、呵介の∪端めて罵臂したア〖キテクチャ∈肋紛蛔鱗∷∩による疥が絡(luò)きい。
ArF閉炕の肌の溪各劉彌は、ArF光二擂唯閉炕か、EUVLか、リソグラフィの坤腸は寒瀑としている。坤腸では、EUVLの悸附に袋略する蘭も絡(luò)きい。EUVLにおいては、これまでとは鏈く佰なる劉彌菇喇が澀妥となる。したがって、ASML家も浩び、ゼロから溪各劉彌のア〖キテクチャを侯らなくてはならないだろう。
ASML家がどんなEUVLのア〖キテクチャを菇蜜するのか。ニコン家およびキヤノン家の船き手しはあるのか。構(gòu)に、100帛邊とも苯されるEUVLを、塑碰に翁緩に蝗う染瞥攣メ〖カ〖がどれだけあるのか。海稿も、染瞥攣の腮嘿裁供から謄が違せない。
廟1¨2007鉗になって、勢(shì)柜テキサスインスツルメンツ家や泣塑のソニ〖などが、45nm笆慣の極肩倡券は乖わないことを券山した。腮嘿步が濕妄弄にも沸貉弄にも氦豈になってきたからだ。もし腮嘿步が賄まれば、35鉗笆懼魯いたム〖アの恕摟が姜哚を忿えることになる。
廟2¨逞拍木踐螟∝30它邊駱でぐるり檀の坤腸辦件≠∈術(shù)噴家糠今∷によれば、坤腸辦件とは∪呂士臀と絡(luò)讕臀を稱」辦攙ずつ玻們して叫券孟に提ること∩と年盜されている。驕って、その收を努碰に辦件したからと咐って、坤腸辦件したことにはならない。
廟3¨ ∪48泣粗坤腸辦件∪については、肌攙笆慣に拒嘿を疽拆したい。
廟4¨澎記セミコンダクタ〖家のリソグラフィの勒扦莢ˇ澎騰會(huì)は、溪各劉彌を∪まさに始達(dá)∩と咐った。いい評(píng)て攤である。
廟5¨附哼の呵黎眉溪各劉彌ArF閉炕においては、泣塑メ〖カ〖が30眶帛邊であるのに灤し、ASMLは50帛邊であるという苯を使いた。
廟6¨ドライエッチング劉彌は、溪各劉彌の10尸の1の擦呈。恫らく、嬸墑爬眶も擦呈に孺毋していると蛔われる。その10尸の1の擦呈∈嬸墑爬眶∷のドライエッチング劉彌と孺秤しても、呈檬に、客が警なかった。
