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半導のトレーサビリティの本はk気通

Mは今、半導デバイスのトレーサビリティの世cYを仲間と作り屬欧茲Δ箸靴討い襦トレーサビリティの要は Identification であってS語でIDと書くことがHい。トレーサビリティはヒトやモノを見えない絆で唯k無二のIDとTびける仕Xけである。

ヒトのIDの場合、世の中では免証やICカードが使われる場合があるが、これらはPSであって厳なIDにはならない。PS性は偽]される可性がある。パスポートの偽]はよく(m┬ng)られている。j(lu┛)阪では今Q、住基カードを偽]したvが現れた。

ヒトはO身のDNAをIDとすべきである。厳密さが要なMの立証にDNAが使われることはしいといえる。同じDNAは100兆人に1人の割で現れると言われているが、世cにはHくても100億人度しか人間はいない。ヒトのDNAは擇泙譴討らxぬまで変わらないため、そのIDはヒトが常時携帯していることになる。DNAをIDとすれば、ヒトは幼iサでもj(lu┛)学院擇砲覆辰討蘯匆饋佑砲覆辰難Tしても、そしてご隠居さんになってもk擇隆崙韻IDをeち歩くことができる。これを、IDのk気通椐桐と我々は称している。k気通椐桐はIDに要な要Pである。

半導のIDをパッケージに刻印もしくはマーキングしてもしいトレーサビリティとしてはT味がない。パッケージ表Cを削って磨けば最初のIDは消えるからだ。次に別のIDをM}に刻印するのは3vにとって容易である。ウェーハにミクロンサイズで小さく直接刻印できれば相当に(d┛ng)いIDになる。偽(にせ)の刻印がMしいためである。

さて、ここでのキーワードはダイレクトマーキングである。IDはヒトやモノに直接マーキングすべきである。tち直接刻印するダイレクトマーキングのみがT味を~する。ヒトで言えばパスポートはダイレクトマーキングではない。DNAこそがダイレクトマーキングといえる。

半導のIDをパッケージに刻印するのはダイレクトマーキングではない。半導チップに直にマーキングしなくてはT味がない。

この発[が我々の動の原点になった。歴史的にはSEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)にPいてT7とS称するウェーハIDに関する仕様書を先輩達が△靴討い拭これは材料メーカーがデバイスメーカーに納入する300mmサイズのウェーハの裏Cにレーザーで書き込むIDであって、それは材料メーカーを識別しw~の英数C(j┤)を使ってID化されていて、IDを読めばそのウェーハの履歴がて解る仕組みになっている。T7を配するそのオーナーが材料ウェーハメーカーであるのは当のことである。

裏CにマークされたT7のIDは、しかしながらバックグラインド(裏C研磨)工で消えてしまう。バックグラインド工は通常は省Sできない。

T7がバックグラインドで消えるとID情報が絶えてしまう。そこで情報をつなぐためにファブ専で使うウェーハIDが要になった。これを我々のチームがマイクロIDの愛称を使いSEMIの組E内で委^会を立ち屬欧拭マイクロIDは、(m┬ng)られているIDでは世ck小さなIDであって2次元データマトリックスがほぼ100μm角に収まる。これがQウェーハのベベルに刻印される。

委^会のコ・チェアマンは、筆vの他に森彰(hu━)と中隆二(hu━)であり、作られたY仕様はSEMIがT14と命@した。崕劼涙k気通椐桐の考え(sh┫)はこの委^達が作り屬欧拭

T14のオーナーはデバイスメーカーに他ならない。デバイスメーカーはT14にT7の情報を含ませるのが好ましい。さもないと、k気通性は失われる。

さて、半導集積v路の長い工を考えるとここでストップするlにはいかない。ファブを出た完成ウェーハは個別チップに切り`されてしまう。この瞬間にベベルに刻印されたT14は消えてしまう。このためウェーハX(ju└)にある工のどこかでチップに個別IDをメーカーが刻印する要がある。

作業は、未だ仕様作成の中段階であり、T14のようなT-番(gu┤)はSEMIにはまだT在しないが仮にTXXとしよう。

TXXのオーナーは、当デバイスメーカーになる。TXXのオーナーであるデバイスメーカーは、これまで述べてきた情と同様、TXXにT14の情報を含ませるのが好ましい。TXXは今Qの(c│i)には陽の`を見るはずだ。

TXXが陽の`を見ることによる効果はj(lu┛)きく、x場で故障した半導の故障モードと]データが11でTびつく。このことが日本半導の信頼性向屬帽弩イ垢訶拗腓い麓り(m┬ng)れないほどj(lu┛)きい。

エイデム 代表D締役 j(lu┛)和田 敦之
ごT見・ご感[
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