≪リソ最�i線≫ 　　　

SPIE Advanced Lithography Symposium 2012(2月12日〜16日：San Jose, California)が開��され、気のつく内容を�{ってみると、まずは最�i線に挑む�j�}プレーヤーの�k角、Samsungからは、EUVツール開発について次の�R文である。

◇Samsung Resets EUV Roadmap for Memory Scaling (2月14日��け SemiMD.com)
→SamsungのMaterials and Device Research Center、senior vice president、U-In Chung��。power sourcesなど��れの��中、Samsung Electronics Co. Ltd.が同社ロードマップを刷新、EUVツールについて次の通り望む旨。
　166 Watt source　→2013�Q�i半までに
　250 Watt source　→2013�Q後半までに

リソ�\術最�i線の現�Xの�����気�、以下に端的に��されていると思う。

◇Darkhorse litho technologies stay in NGL race (2月15日��け EE Times)
→extreme ultraviolet(EUV)リソの�Hくの�мq�vには��常に残念なことに、　該�\術の量�氦入の��れが��いて、少し�iはほとんど終わりと考えられていたnext-generation lithography(NGL)��争に他の興味をそそるリソ�\術が加われるようになっている旨。EUVが残る�\術的障害を�ﾀK、主流リソ�\術として193-nm光リソを�Mぐとリソcommunityの�j�気楼幼�見ているが、EUVのつまずきがnano-imprintリソ, e-beam direct writeおよびホットな新顔、directed self-assembly(DSA)リソなどの�\術に可��性を残している旨。

このSymposiumと並行して、欧�Δ�らもリソ�\術関連のアップデートが発表されており、まずはフランスのCEA-Letiからである。

◇Maskless e-beam litho good for 14-nm , says CEA-Leti (2月13日��け EE Times)
→フランスのリサーチ機関、CEA-Leti(Grenoble, France)発。22-nm lines and spaces(l&s)がdirect-write e-beamリソ�\術により�收�され、その解�掬戮�14-および10-nmロジックprocessingノードの両�気砲弔い討陵弋畛斗佑謀�合する旨。加えて、CEA-Letiで使��のmultibeamリソ試作機を開発しているMapper Lithography BV(Delft, The Netherlands)とCEA-Letiが、コラボR&Dプログラム、Imagineのさらに3�Qの��長を発表の旨。

これに�}応する2つの以下の動きである。

◇TEL joins CEA-Leti programs on DSA, maskless litho (2月14日��け EE Times)
→Tokyo Electron Ltd.が、CEA-Leti(Grenoble, France)主��の2つのコラボ・リソ研�|プロジェクト、すなわちdirected self-assembly(DSA)についてのIdealおよびmaskless multibeam direct-write e-beamリソ�\術の�t開・�]�屬欧鬟汽檗璽箸垢�Imagineに参画する旨。

◇TSMC set to receive Matrix 13,000 e-beam litho machine (2月17日��け EE Times)
→Mapper Lithography BV(Delft, The Netherlands)発。最初のMatrix pre-production e-beam masklessリソ・システムの1つがTSMC(Hsinchu, Taiwan)に入る運び、TSMCはプロセス開発およびデバイス試作のためにMapper��pre-alpha 300-mm multiple-electron-beam masklessリソ・プラットフォームを��いてきており、CEA-Leti(Grenoble, France)据　え��けのリサーチtoolを��いるImagineコラボR&Dプロジェクトにも参画している旨。　　

ベルギーのIMECからは、新顔�\術、DSAへの�Dり組みが発表されている。

◇IMEC installs 300mm-fab compatible DSA process line (2月13日��け Electronics Weekly (U.K.))
→世�c初の�Dり��け、DSAはblock copolymersを��いてspatial周�S数�\加を可�Δ砲垢�patterning�\術、光リソの現�Xの�U約を��える�}段の旨。

◇Imec develops 300mm fab-compatible DSA process line (2月13日��け EE Times India)
→Imecが、�Oらの300-mmクリーンルームfabに300-mm fab-compatible directed self-assembly(DSA)半導�����]プロセスライン�Dり入れに成功の旨。academic lab-scale DSAプロセスフローのfab-compatibleフローへのこのアップグレードは、University of Wisconsin, AZ Electronic MaterialおよびTokyo Electron Ltdとのコラボで実現の旨。

このような最先端リソ�\術の�t開の�k�機����]fabsの新陳代�aが進んでおり、ここ3�Qで以下の�X況となっているとのことである。

◇Report: Chip makers closed 49 fabs in three years (2月15日��け EE Times)
→IC Insights社(Scottsdale, Ariz.)からのデータ。半導��メーカーが、200-mm以下の口径ウェーハを処理する旧capacityライン削��を主に、2009�Qから2011�Qの間に49 fabsを閉鎖している旨。
・ウェーハ口径別fab閉鎖
⇒http://www.eetimes.com/ContentEETimes/Images/120215_ic_insights_fab_close_size_371.png
・地域別ウェーハfab閉鎖
⇒http://www.eetimes.com/ContentEETimes/Images/120215_ic_insights_fab_close_region_403.png

≪�x場実��PickUp≫

ペイする�x場があってこその半導��最先端�\術であるが、IC����分野別に本�Qの�x場を予�Rした内容が以下に��されている。草創期から半導��の基本パラメータとして今に至っているDRAMに�瓦靴董⊥x場��模でNANDフラッシュが初めて今�Qは���vるのではないかという見�気�、また�kつ加わっている。

【2012�QIC分野別�x場】

◇NAND flash market to expand surpassing DRAM in 2012, says IC Insights (2月13日��け DIGITIMES)
→IC Insights発。World Semiconductor Trade Statistics(WSTS)の定める主要ICの33���`のうち、2012�Qは27���`がプラスの�Pび、11���`がIC業�c����の予�R7%以�屐�6���`が二桁の�Pびと見る旨。NANDフラッシュは、solid-state drives(SSDs)��要拡�jで���咾まk�機�DRAM ASPsは引き��き弱含み、2012�Qは初めてフラッシュ�x場����がDRAM�x場を���vる様相の旨。
・2012�Qに最も�PびるIC�x場分野の予�R

	2012�Q�P長	2011�Q�P長
NAND flash
	15%	15%
Wireless telecom-special purpose logic/MPR	15%	35%
32-bit MCU	15%	12%
MPU	14%	12%
Auto-special purpose logic/MPR	11%	11%
Auto-application specific analog	11%	45%
Display drivers	9%	7%
PLDs	9%	2%
16-bit MCU	8%	21%
Wired telecom-special purpose logic/MPR	8%	2%
Wired telecom-application specific analog	8%	34%
≪IC�x場����≫	7%	0%

　　　　
[Source: IC Insights, compiled by Digitimes, February 2012]

中東、ロシアを含めた欧�Δ糧焼���、マイクロシステム���]fabsのデータベースが発表されている。50ヶ国にわたる国別のデータ内容に改めて見入っている。

【欧�Δ�fab、研�|機関】

◇European microelectronics fab database tracks major changes over past 5 years (2月13日��け ELECTROIQ)
→Yole Developpementがリリースした"European Microelectronic Fabs Database & Report 2012"は、欧�Δ�microelectronicsおよびmicrosystem���]fabs、試作ラインおよび主要R&D機関を����に、50カ国を���魁�Europe and the Middle East area(EMEA)およびロシアに拡がる旨。
・≪地図表��≫ EMEAウェーハライン　…316ウェーハライン
⇒http://www.electroiq.com/content/dam/eiq/online-articles/2012/02/ICEuropemap.jpg
・≪��グラフ表��≫ EMEAウェーハライン　…316ウェーハライン
⇒http://www.electroiq.com/content/dam/eiq/online-articles/2012/02/ICEuropecam.jpg

サプライチェーンが本��を入れて�`を光らせるとかくもなるということか、半導��関係模�]��の�~発�P数という理解であるが、以下の通りである。
mission critical、�斂燭亡悗錣覬���に及んでいることは、�R�Tの�`を新たに求めている。

【模�]��】

◇Counterfeit parts putting military at risk (2月14日��け EE Times)
→IHS発。original equipment manufacturers(OEMs), contract manufacturers, component suppliers, buyersなどsupply chain関係�vの徹�f調�hを経て、模�]���P数が2009�Qの324�Pから2011�Qには1,363�Pと4倍の�\加、������およびヘルスケア機�_で�S的な数量�\となっている旨。

≪グローバル雑学�棔�189≫

学�攣�代に始まって会社����、プライベートと、��々と��いている�k�Jのお��き合い。時代�，譴疋錺ぅ錺ぅ�ヤガヤのコミュニケーション&雰囲気は、今後とも�Lかせないもの。というかなり�}�i�M�}の解�圓��咾だ擇蟒个靴任呂△襪�、そういった場所を提供する居��屋について、

『居��屋の世�c史』　(下田　淳／著：講�i社現代新書 2120)　　
　…2011�Q 8月20日 発行

より、そもそも�bから今日に至る経緯、流れを辿ってみる。まずは、古代の誕�擺�、ギリシア、ローマなどであるが、10�Qくらい�iに旅行で訪れたポンペイの�C跡の居��屋、��のかめを思い出している。

≪はじめに≫

○居��屋から歴史がみえる
・居��屋の比較文化�bを試みる気に
・居��屋の「�X」から覗くと、ヨーロッパ史の�擇慮従譴箸修���徴がみえてくる
・比較のため、��ヨーロッパ文��圏の居��屋にも
　→本書ではイスラム圏、中国、�f国、そして日本

○金�Bの見返りに��類を提供する営業空間
・「居��屋」の定�I
　→金�Bと引き換えに��を飲む「場」
　→貨幣経済の成立が�i提条�P

○本書の��つのキーワード
「����への貨幣経済の浸透」…���c同士も、日常的に貨幣で売�A関係を�Tぶ段階
「居��屋の�H機��性」　　　…共同��の集会所、�T��披露宴や�@進落としの場等
「�Rみ分け」　　　　　　　…「�H機��性」がそれぞれ居��屋から分�`・独立

���k�B　古代オリエント・ギリシア・ローマ　−　居��屋の誕�擺�

・現�餡瀛召涼奮�だった紀元�i18世紀、バビロニアに居��屋が�T在していたという証拠
・居��屋の本格的普及は、紀元�i7世紀頃が��点
・古代人の感覚　…金�Bを�Dって飲食�颪鯆鷆，垢觜坩戮浪殊�
　→居��屋は�嵶�階級からつねに軽��

○メソポタミア文��で�擇泙譴織咫璽襪肇錺ぅ�
・メソポタミア文��のシュメール人の�l土��
　→紀元�i4000�Q頃にビール醸�]
・ワイン醸�]は、紀元�i7000〜紀元�i5000�Q頃とする説

○「ハンムラビ法�Z」のなかの居��屋
・メソポタミア文��期バビロニア�楾颪痢屮魯鵐爛薀嗚「Z」に、居��屋についての��定
　→��払いは�j麦で�pけ�Dること
　→謀議が行われたら通報すること
　→�∩里蝋圓辰討呂覆蕕覆い海�

○古代エジプトの国�c飲料・ビール
・紀元�i1300�Q頃、�榲圓傍鏈�屋
　→ビール、ワイン、なつめやしの�^�虜�
　→すでにこの時期、�^�龍\術

○貨幣経済の始動
・居��屋の発�tは貨幣経済の発�tと並行
・貨幣経済が本格化　→単に��を飲むだけでなくエンターテインメントの場に

○客人の接待は�@誉なこと
・ゲルマン人にとって客人を接待することは�@誉なこと
・「ホスピタリティ」…ラテン語の「ホスピティウム」から
　→元来、無償で客を接待することや、そのための�U
　　→ホスピス、ホスピタル、ホテル

○ユダヤ・キリスト教と無償接待
・クセノドキーエンという施��院
　→ユダヤ教やキリスト教の慈���@神と、古代人���~の無償接待の�@神の合��した施設

○パンとワインはわが身��と�p
・ユダヤ人の��はワイン　→�@書をめくればワインの記述はすぐ�`に�里泙襪曚�
・新約�@書、キリストと弟子たちの「最後の晩�o」
　→パンとワインを�Dらせ、これはわが身��と�pである
・ユダヤ教、キリスト教の教え�O��、飲��が�Kいものという�b理は出てこない
　→禁��を建�iとするイスラム教世�cとの�竿�
　→キリスト教世�cで居��屋が発�tすることに�k役

○呑兵ﾅの都�x・ビザンティウム
・紀元�i6世紀ごろ、ギリシアの植�c都�x、ビザンティウム(現イスタンブール)は、"呑兵ﾅの都�x"の�}び�@
　→アテネの港に�飩@運搬、アテネも居��屋の巣�lに

○ワインは薄めて飲むのがマナー
・ギリシア、ワインを水やお湯で薄めて飲むのが、��に�嵶�階級の「マナー」
　→原��で飲むのは���気糧斂�のやること
　→ほどほどの��が�k番、��酊は人の理性を麻痺

○�o��の��源
・�y、鷲などの動�顱▲�リーヴや�Z�茵��Bなどさまざまなものを���o��に
　→�o��の��源はローマ

○居��屋に通う皇帝
・�嵶�階級も居��屋に行っていた証拠
・����79�Qに���僂諒���で�m没したポンペイ
　→人口1万、120軒の居��屋。�D��4時か5時開��、�Qりの際は深�榔超函�

○����に居��屋はあったか
・古代の�o文��　→貨幣経済の発�tと並行して居��屋が成立
　→古代において����居��屋はなかった、といってよい
・居��屋はつねに�U屋
　→�嵶�階級にとっては軽��の����、客はもっぱら下層�c