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オルバニーナノテクの成果

盜颪離ルバニーナノテクは2001Q(R1)にニューヨークοBが主導しニューヨークξj学オルバニー鬟淵離好院璽詬工学陲鮹羈砲箸靴難T成されたナノエレクトロニクス研|開発のための匲学連携コンソーシアムである。その後、発t的にここを母としてナノスケール理工学カレッジ(CNSE)が創設され(R1)、ニューヨークΔ5つの「R越した研|拠点」、tち「センター・オブ・エクセレンス」の1つに定されて成長し、今や半導クラスターの成功例と報告2)されるに至っている。ここではの予Q教書と合わせてその成果を考えてみたい。

SEMATECHは\術開発膿覆砲茲訃噞の振興を主眼とした劜官提携であった。それに瓦、このオルバニーナノテクは貉櫃箸靴討呂發舛蹐、ナノテクの研|開発、商化とその推進が`的ではあるが、しかしοBにとってナノテクそのものはむしろ}び水で、|極的には地域振興、雇の確保が`的であることがivと異なる点である。

Jにオルバニーナノテクに関して詳しく報告された記もHい。例えばj下淳k(R3)は「ニューヨークΔ了從任シリコンバレーやオースティンなどに奪われつつある噞拠点としての求心を再びDり戻したいということにあった」と指~しつつ、「オルバニーナノテクがビジネス直T型である」ことを喞瓦、「つくばへの}L」として記をまとめている。また、それよりiにvノ切E(R4)も、同様にここを「ナノテク\術の業化を推進するコンソーシアム」として紹介している。また盜馘典づ纏匈慍饂(R5)や国際光工学学会予M集(R6)などにもオルバニーナノテクを紹介している記やb文がある。さらに、電子情報\術噞協会(JEITA)7)などのL外駐在^からもHく報告されているし、文隹奮愍淵淵離謄ノロジーネットワークセンターのナノテク最新情報ナノネット2)などもオルバニーナノテクをめぐる極端外線(EUV)露光\術の最新情報を報告しながら、日本のコンソーシアムを指し「国家プロジェクトのTIが問われる試金石」、「匲学の役割を考え直すのも無Gではない」と指~している(R8)。

2004-05Q度のパタキの教書(R9)には策に関して1995Qからの経緯と2004Q以Tのt望が述べられており、「経済成長のための長期戦S」として3つの柱を掲げている。tち(1)T欲的な税、(2)噞への戦S的投@、(3)ビジネスコスト軽を柱とした税優遇策である。この施策によりニューヨークΔ呂修慮紊2006-07Qの教書10)によると60万の雇を創出したと記載されている。これはi記3本柱によるものであり、その内ハイテク優先戦S投@分から擇泙譴燭發里浪召3分の1とすると20万から10万度になろう。そのハイテク優遇策で擇泙譴織札鵐拭次Εブ・エクセレンスはJに5カ所ある。ってオルバニーがその5分の1度を担うものとしたら、2~4万が達成されれば良い。内数か外数かRらわしい点もあるがそのまま引するとホームページ1)ではCNSEで2000人、AMDで1200人、・・・教書(R9)でもInternational SEMATECH Northで500人、東Bエレクトロン研|センターで300人、・・・という雇創出数が出てくる。これらの数Cはコンソーシアムが当初の`的に瓦靴討海弔海弔氾慘して積み屬欧胴圓辰拭△修譴覆蠅料T味をeつ数Cである。

2004-05Qの教書(R9)では、の策期間を2期に分けてまとめている。1期はハイテクへの投@がW益をもたらすまでの時期としており、パタキの最後の教書(R10)の経済成長欄において「オルバニーナノテクは雇を創出し1期の`Yを達成した」と述べている。参加企業数として250社を擁している実と、何と言ってもSEMATECHを巻き込み、International SEMATECH Northを設立させて本社機Δ鬚睛驚廚靴慎実、そしてApplied Materialsと東Bエレクトロンという世c1位、2位の半導設企業の研|センターを誘致したこと、そしてIBM、AMDなどの企業をサポートし地域振興に役立てていることはRれもない実(R1)(R9)(R10)であり、噞に直Tして、ビジネス振興に貢献した証拠と言えよう。CNSEやパタキを雑誌の調hや業c団協会などvがh価をしている例がH数ある(R1)(R9)ことも成果を裏けている。

最新の\術開発に関しても]浸露光の試作機にき、オランダASML社よりEUV露光の試作機を導入し、さらに同じ時期に同じを導入したベルギーIMECと共同研|Uを確立し解祇h価や材料・]の開発を行う画である(R11)。先ずはCNSEのオルバニーナノテク施設に設されている試作機を使って共同研|をスタートさせ、以後はのスループットなどに応じて、両施設で研|動を行うことになっている。これはCNSE、IMEC、IBM、ASMLの提携であり、そこでCNSEがリーダーシップをとったことになる。盜馥發里澆任覆日欧から企業をひきつける魅あるコンソーシアムとして、クラスターとしても成^期に入っている(R2)。

筆vの感[では、パタキは2004-05Q教書(R9)の時点でJに、ナノエレクトロニクスよりナノバイオサイエンスに点を,靴突茲討い覦をpける。またその後のスピッツアも財再建にRすると述べている(R12)。このコンソーシアムには東Bエレクトロンなど日本を代表する企業も参画しているので、今後、例え権交代、策変換などがあってもるぎなき発tをするよう、最先端\術の開発をeし半導噞cのためになるビジネス直T型の成果を屬欧蕕譴襪海箸魎待する。


(a)
この調hは田R先端財団常任理谿羚夫東B工j@誉教bの指導の下になされた。ごмqご討議頂いた同財団専理珪誑男、及び同財団関係vに感aする。

財団法人 田R先端財団 プログラムスペシャリスト r志田 元孝


(参考文献)
1)College of Nanoscale Science & Engineering:http://cnse.albany.edu/
2)ナノテク最新情#420“オルバニー・ナノテク・センターに日本企業進出”、文隹奮愍淵淵離謄ノロジーネットワークセンター.htm、nanonet 2006.06.06、http://www.nanonet.go.jp/japanese/column/2006/420.html
3)j下淳k、“つくばへの}L 盜顱Albany NanoTech」が狙う”ビジネス直T型“の研|開発”、日経マイクロデバイス2005/05p.43−p.49
4)vノ切E、“ナノテク\術の効率的な業化を推進するAlbany NanoTech”、日経マイクロデバイス、2004/01p.105
5)N. Savage、“New York State Wins Top Semiconductor R&D Lab---Could Hudson River area become another Silicon Valley?”、IEEE Spectrum、Sep. 2002、p.26-p.30
6) M. Tittnich, J. Hartley, G. Denbeaux, U. Okaroanyanwu, H. Levinson, K. Petrollo, C.Robinson, D. Gil, D. Corliss, D. Back, S. Brandl, C. Schwarz, F. Goodwin, Y. Wei, B. Martinick, R. Housley, P. Benson, K. Cummings、“A Year in the Life of an Immersion Lithography Alpha Tool at Albany NanoTech”、Proc. SPIE Vol. 6151 published online Mar. 22, 2006
7)例えば 荒田良平;“ニューヨークΔ砲けるナノテクのDり組み”、JEITAニューヨーク駐在^報告2002Q10月 http://it.jeita.or.jp/infosys/f-office/newyork0210/newyork0210.html
8) ナノテク最新情#552“EUV露光がCNSE’s Albany NanoTechとIMECに納入”、文隹奮愍淵淵離謄ノロジーネットワークセンター.htm、nanonet 2006.08.31、http://www.nanonet.go.jp/japanese/column/2006/552.html
9)New York State Division of Budget 、“NYS 2004-05 Executive Budget”: Economic Growth  http://www.budget.state.ny.us/pubs/archive/fy0405archive/fy0405littlebook/econGrowth.html
10)New York State Division of Budget 、“NYS 2006-07 Executive Budget”:Economic Growth
11)“UAlbany Nanocollege and IMEC to collaborate on EUV Lithography; First Experiments tobe performed at CNSE’s Albany Nanotech”、IMEC Press Release 2008.01.21 http://www.imec.be/wwwinter/mediacenter/en/Albany.2008.shtml
 及び“IMECとAlbany NanoTech、EUVリソ開発で提携(08/1/24)”、Semiconductor Japan Net、http://www.semiconductorjapan.net/newsflash/semicon/080124_02html
12)New York State Division of Budget 、“NYS 2007-08 Executive Budget”
及び冒頭のGovernor Eliot Spitzer のレター

ごT見・ご感[
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