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半導パッケージの_要性がk気に高まる〜TEL、キヤノン、レゾナックにR`

「半導の後工に瓦垢覺愎瓦いやがうえにも高まっている。材料関連においても、この動きは]であり、住友化学、菱ケミカル、旭化成などの動きにR`する要がある。もちろん、後工材料にめっぽう咾ぅ譽哨淵奪についてはきっちりとウォッチした気良いのだ。」

咾じ調でこう語るのは、半導アナリストとしていまや著@なT在である和田v哲哉(モルガン・スタンレーMUFG証w)である。和田vによれば、i工の微細化がかなり限c値にZづきつつあるとの思いがQデバイスメーカーの間に拡がっており、チップレットさらにはパッケージングなどでこれをカバーしていくという向が咾泙辰討い襪箸發いΔ里澄

こうしたX況の中で、Hくの半導メーカーは2.5次元さらには3次元実△覆匹寮菽璽僖奪院璽献鵐阿埜|開発拠点を設立することをめた。湾TSMC、f国Samsung、盜Intelはいずれも半導のパッケージングの研|開発拠点を日本に設けている。このことで、日本の材料・メーカーとの連携を啣修靴討い襪里澄F本勢では、国家半導戦Sカンパニーともいうべきラピダスがセイコーエプソンの工場を借りて、先端パッケージングの研|開発を加]しているのだ。

メーカーにもかなりの動きがある。j}のk角である東Bエレクトロン(TEL)は顧客からの先端パッケージングの要望が\加していることから、ウェーハ同士をaり合わせるウェーハボンディング、ウェーハ端Cをトリミングするウェーハエッジトリミングをx場に投入した。とりわけ、3DNANDフラッシュメモリ、HBM(High Bandwidth Memory)、先端ロジックなどにおいて引き合いが常にHいというのだ。

k機▲ヤノンは後工で使うi線露光の開発と量にRしている。パッケージサイズがj型化しているためにキヤノンの露光は4vの露光をつなげることで100mm×100mmのj型パッケージに官できる。また、チップごとに位合わせを行い、位合わせの@度を高めるシリコンブリッジにも官できるのだ。そしてまた、チップ同士を直接接するハイブリッドボンディングにも要が見込まれるのである。

日立ハイテクは直接的にはアドバンストパッケージング向けのがあるわけではないが、ハイブリッドボンディングでのt開をエッチングで狙っている。

材料メーカーにおいても、後工啣修妓性がはっきりと出てきているのだ。後工材料の最j}であるレゾナックは、後工の開発やh価にDり組む日10社の企業連合を設立した。シリコンバレーに開発・h価の拠点をくことになり、日本からは東B応化やTOWAなど6社、盜颪らはKLAなど4社が参画している。

世cはいまや半導設投@のkjブームに{き返っているがi工だけではなく、後工投@の拡jにもjきくRTを払う要が出てきたのである。

噞タイムズ社 D締役会長/別集委^ 泉谷 渉
ごT見・ご感[
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