深いため息をつきながらも、早口でこう��りまくるのは野��証�wのアナリスト/ディレクターの和田�v哲哉��である。日経ヴエリタスのアナリストランキングで堂々1位にランクされた和田�v��は、今や半導�����]����の分野で間違いなくナンバー1のアナリストといってよいだろう。

これまでの半導�����]においては露光機1��に�瓦掘▲┘奪船磧爾呂擦い爾�1〜2��あればよかったのだ。ところが最�Zではウルトラナノレベルに微細化が進んでいるために、3�_露光、4�_露光などが加�]している。露光機1��に�瓦轡┘奪船磧�8��以�屬箸い�時代がやってきている。

これを反映して半導�����]����の世�cランキングでも異変が��きている。2016�Qの半導�����]����は世�c売�峭發�4兆���咾箸覆辰討�り、�i�Q比12％�\の��況にある。この恩�Lを�pけて、エッチャーの世�cで��トツのシェアを�eつLam Researchは、2016�Qの半導�����]����ランキング（VLSI Research調べ）においてApplied Materials、ASMLに次ぐ世�c��3位に�j躍進した。ちなみに、世�c4位は東�Bエレクトロン、��5位はKLA-Tencor、��6位はSCREEN、��7位はアドバンテスト、9位が日立ハイテクノロジーズとなっている(表1)。

表1　2016�Qにおける世�c半導�����]����ランキング　出�Z：VLSI Research

「3D-NANDに参入しようというメモリメーカーは数�Hいが、実は�j変�Mしい�\術だ。エッチングの穴�Eりだけで1時間はかかる。�H�_露光を繰り返すために、プロセスコントロールもかなりのスキルが��要になる。中国メーカーの参入がアナウンスされているが、3D-NANDフラッシュメモリ世�cでトップを行くサムスン電子、東��/ウエスタンデジタル連合の�\術レベルに�{いつくには相当の�Q月を��要とするだろう」（和田�v��）。

Lam Researchの���]工場はもはや満�Jとなっており、3D-/NAND向けが��拡�jでとても作り切れない。この分が東�Bエレクトロン、Applied、日立ハイテクに流れてきており、これら�Q社もフル�n働が��いている。

東�Bエレクトロンはこうした�X況を良く見据えており、2019�Q度には��社売り�屬欧�36％以�屬鬟┘奪船鵐梓慙△砲垢襪箸いχ`�Yを立てている。エッチング主��のTEL宮城のプロセスチャンバの����出荷は、2016�Q6月段階で5000��を達成したが、この工場が動き出してわずか5�Q弱で達成したことになる。次の�`�Yである1万��の出荷は今後3�Q間で達成してみせると、同社の���陲聾譴辰討�り、�啜い琳e勢である。

「2015�Q段階でフラッシュメモリの�攵�ラインは、月1500K��度であった。2020�Qにはこれが月12500Kに跳ね�屬�る。48層から64層、さらには96層まで立��化が進んでくる。もしかしたら露光機1��に60��のエッチャーが��要になるかもしれない。そういう流れになれば、エッチャーメーカーにはまさに我が世の春が到来したことになるだろう」（和田�v��）。