面柜恫るべし—面柜はスパコンに魯き黎眉EUV溪各劉彌も極肩倡券か々
柜踩奧鏈瘦俱の囪爬から面柜の染瞥攣緩度の駱片を娃えたい勢柜蠟紹は、ASMLがEUV溪各劉彌を面柜に廷叫せぬように、2018鉗笆慣、オランダ蠟紹に動く漂きかけてきた。このため、面柜呵絡のファウンドリであるSMICは、それ笆漣に廟矢していたEUV溪各劉彌を踏だに掐緘できていない。それだけではなく、躥SK hynixも面柜痰尖での黎眉DRAMの瀾隴をあきらめざるを評なくなっている。
SMICが閉炕ArFマルチパタ〖ニングを脫いて∈EUV溪各を蝗うことなく∷面柜柒の簿鱗奶策艱苞度莢羹けに7nmデバイスを瀾隴していたことがリバ〖スエンジニアリングでわかるやいなや、勢柜蠟紹は極柜では倡券も瀾隴もしていない閉炕ArF溪各劉彌の灤面敦廷を泣塑およびオランダに妥懶してきた。これを減けて泣塑蠟紹は、廷叫憚擴染瞥攣劉彌など23墑謄の面に閉炕ArF溪各劉彌∈廟1∷を崔めた猖賴臼吾を2023鉗7奉から卉乖しようとしている。∈徊雇獲瘟1∷。
そんな面、≈頌疊、ハルビン、墓秸にある面柜の3つの甫墊怠簇のチ〖ムが定蝸して泰かに倡券してきた呵黎眉EUV溪各劉彌のプロトタイプを窗喇させた∽と辦嬸の面柜メディアが帕えている。面柜彩池薄漣薄墓で面柜鼎緩呸漣面丙把鎊の球秸伍會が、殿る4奉13泣羔稿、等斡臼墓秸輝にある面柜彩池薄燒擄墓秸各池ˇ籃泰怠常ˇ濕妄甫墊疥を渾弧して劉彌の倡券覺斗を澄千し疚豢したという。眶鉗笆柒にEUV溪各翁緩劉彌倡券のメドが惟っているとも帕えられている。プロトタイプがどのような拉墻かは湯らかになっていない。
哭1¨EUV溪各甫墊莢∈繼靠焊∷から倡券したEUV溪各劉彌の棱湯を減ける面柜彩池薄漣薄墓の球秸伍會(繼靠面丙) ∈叫疥¨柜惟墓秸各池籃泰怠常濕妄甫墊疥、2023鉗4奉13泣∷
面柜では20鉗笆懼漣からEUV溪各の甫墊が乖われていた
墓秸各池ˇ籃泰怠常ˇ濕妄甫墊疥は、すでに 2002鉗に面柜介の EUV リソグラフィ付妄澄千劉彌を倡券し、0.75 nm RMS よりも庭れた僑燙箭汗を銅する 2 ミラ〖 EUV リソグラフィ灤濕レンズ システムの倡券に喇根していた。その稿も甫墊を魯け、 2017鉗には俐升32 nm灤炳EUV溪各劉彌活侯に喇根し、その稿5nmデバイス羹けEUV溪各劉彌の倡券を乖ってきた。
EUV溪各禱窖については、ハルビン供彩絡池∈Harbin Institute of Technology∷でも墓く甫墊倡券が乖われてきており、附哼、墓秸甫墊疥と定度攣擴にあるという。EUV溪各劉彌羹けの畝籃泰マスク/シリコンウェ〖ハステ〖ジは、藍糙絡池の繭短兜鑒が唯いるチ〖ムがすでに2014 鉗に倡券しており、すでに墓秸甫墊疥に捏丁された。糙百∈Huawei∷の甫墊疥も墓秸にあり、EUV溪各劉彌の勵哼弄ユ〖ザ〖として、EUV溪各劉彌倡券に定蝸しているという。
亡ASML Holdingsのピ〖タ〖ˇウェニンク呵光沸蹦勒扦莢∈CEO∷は、面柜でのこれらの瓢羹を悄愛したうえで、4奉26泣の鉗肌臭肩另柴で、≈面柜が嘲柜瀾の瀾隴劉彌の拇茫を憚擴されている覺斗で迫極の劉彌倡券を謄回すのは碰臉だ。頂凌陵緘∈面柜∷が溪各劉彌を欄緩するのは極臉の喇り乖きなので、ASMLは呵絡の染瞥攣輝眷である面柜へのアクセスを拜積するのは澀妥稍材風である∽と揭べている。面柜への溪各劉彌廷叫憚擴は、勢柜蠟紹の罷羹であって、瘋してASMLの罷羹ではなく、ウェニンクCEOはかねてから、憚擴は面柜の極肩倡券を樓渴するだけだと鵝咐を蔫していた。
面柜スパコン倡券と票じ喇り乖きで極肩倡券裁廬か?
ここで蛔い叫すのが、面柜におけるス〖パ〖コンピュ〖タの倡券である∈徊雇獲瘟2∷。面柜では、海坤氮介めには、ス〖パ〖コンピュ〖タが廠痰の稿渴柜だったが、面柜は海や坤腸呵驢のスパコン瘦銅柜になっている。2015鉗に、勢柜は、Intel瀾CPUチップを烹很した面柜瀾の坤腸呵光廬のス〖パ〖コンピュ〖タが面柜柒で乘倡券に蝗われている禍悸を悄愛し、Intel瀾のスパコン脫ハイエンドCPUの面柜への廷叫を敦賄した。それを減けて、面柜蠟紹は、10鉗笆懼にわたり柜踩プロジェクトとしてひそかに極肩倡券してきた迫極のCPUチップ∈260コアを烹很した≈Sunway SW26010∽∷を何脫した柜緩スパコン≈坷耙ˇ呂感欠各∽を給山し、いままで坤腸呵光廬だったIntelチップ何脫の面柜瀾≈歐蠶2規∽の3擒の遍換拉墻を悸附した。
ちなみに、この面柜緩CPUは、2003鉗に肋惟された柜踩光拉墻IC懼長肋紛面看∈Shanghai High Performance IC Design Center∷が泰かに肋紛してきたものである。なお、この柜惟甫墊疥は、柜踩奧鏈瘦奧懼の妄統で、コンピュ〖タCPUチップ柜緩步を謄回して2003鉗に肋惟されたが、その賂哼は夢られていなかった。≈坷耙ˇ呂感欠各∽は、2016鉗に坤腸呵光廬スパコンに千年され、20217鉗11奉まで坤腸呵光廬怠として柜狠弄に千年されていた。
面柜のEUV溪各劉彌倡券も、スパコンと票じように、勢柜の廷叫憚擴がかえって面柜甫墊控による極肩倡券を樓渴することになりそうである。
廟
1. 溪各劉彌の廷叫憚擴の拒嘿¨沸緩臼の染瞥攣瀾隴劉彌など23墑謄の廷叫憚擴に簇する臼吾猖賴掘矢は、端めてわかりにくく、劉彌メ〖カ〖は竿锨っている。毋えば、溪各劉彌に簇しては≈各富の僑墓が193nm笆懼で山した各富の僑墓に0.25を捐じた眶猛を倡庚眶の猛で近して評た眶猛が45笆布の各池及溪各劉彌∽を憚擴灤據にすると今かれている。螟莢が柜緩の溪各劉彌すべてについて紛換したところ、ニコンの閉炕ArF溪各劉彌だけが澈碰することが尸かった∈徊雇獲瘟1∷。
徊雇獲瘟
1. 繩嬸擔、≈沸緩臼が染瞥攣瀾隴劉彌など23墑謄の廷叫を2023鉗7奉より憚擴、その面咳を粕み豺く∽、マイナビニュ〖スTECH+ (2023/04/03)
2. 繩嬸擔、≈飼白肅護の呵面にスパコン倡券頂凌で殘倉歡らす勢面、肌は染瞥攣?∽、セミコンポ〖タル (2018/06/28)
