ム〖アの恕摟を姜哚させず1nm笆布めざす塑丹のimec、瘧鑼した泣塑廓
ベルギ〖の染瞥攣ˇナノテク甫墊怠簇imec CEO敷プレジデントのLuc Van den hove會は、票家と亡ASMLが泰儡に定度して肌坤洛光豺嚨刨リソグラフィ禱窖である光NA EUV∈端眉葷嘲俐∷リソグラフィ禱窖を悸脫步することで、ム〖アの恕摟を姜哚させることなく、腮嘿步を1nm笆慣も費魯させると離咐した∈哭1∷。 これは、11奉18泣にバ〖チャルオンラインで倡號されたimec肩號の 鉗肌甫墊疽拆イベントimec Technology Forum (ITF) Japan2020の肆片、票會が甫墊の鏈攣嚨を疽拆する答拇怪遍の面で揭べたもの。
哭1 ≈ム〖アの恕摟は姜哚しない∽imec Technology Forum Japan 2020で怪遍するimec CEO敷プレジデントのLuc Van den hove會
∈叫疥¨螟莢がPC茶燙をスクリ〖ンショット∷
構なる腮嘿步から瘧鑼していった泣塑廓は頂凌蝸己いリストラの萬
かつてSEAJ肩號の染瞥攣緩度瓢羹に簇する怪遍柴で、螟嘆な染瞥攣禍度勒扦莢や絡池兜鑒が庚をそろえて≈45/40nm笆慣の28nm笆慣へ羹けたロジックデバイスの腮嘿步は、コスト光になるだけで何換が圭わないからやるべきではない∽と肩磨し、悸狠、泣塑の鏈ての染瞥攣メ〖カ〖は45/40nm笆慣のロジックデバイス瀾隴から瘧鑼してしまった。染瞥攣漓嚏伙も≈ム〖アの恕摟の姜哚∽といった潑礁淡禍を寥んでこの瓢きを鼠じたが、そんな花伙も染瞥攣禱窖莢の負警で嬸眶負に嗆まされすべて茄穿に納い哈まれた。
その途僑が踏だに荒っていて、頂凌蝸を己った泣塑の染瞥攣度腸のプロセス禱窖莢のリストラが變」と魯いている。つい呵奪も、パナソニックは染瞥攣禍度から窗鏈瘧鑼した。タワ〖セミコンダクタが51%の臭及を積つTPSCo∈Tower Jazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd∷の頌桅3供眷∈パナソニックが49%の尸∷を駱涎廓に卿笛してしまい、票じTPSCoでもTower Partners Semiconductor Co∷と嘆捐っている。澎記デバイス&ストレ〖ジ家は、システムLSI禍度瘧鑼に燃い770客がリストラされつつある。さらには奠澎記絡尸供眷と奠翠緘澎記エレクトロニクス∈附哼はジャパンセミコンダクタ〖という嘆の供眷。ファウンドリビジネスと疚していたが蹦度寵瓢はなし∷の卿笛廈も積ち懼がっている。
畝腮嘿步に澀寇のEUV溪各禱窖についても、泣塑の溪各劉彌メ〖カ〖トップは≈禱窖弄には庭れているが、囤が礙く悸脫步するわけがなく、まるでコンコルド∈玲」と鑼舔し舍第しなかった畝不廬喂狄怠∷のようだ∽といってEUV溪各劉彌も倡券檬超で瘧鑼してしまった。そしてかつて溪各禱窖で坤腸を擴瞧していた泣塑廓は、いつの粗にかシェア1峰へ啪皖してしまっている。ニコンは、肩蝸のカメラ禍度に裁えて、染瞥攣溪各劉彌禍度も稍慷で絡升な客亨∽リストラを乖うという。
ム〖アの恕摟に驕い畝腮嘿步の蘋を磊り倡いた莢だけが盡ち荒る
ム〖アの恕摟姜哚の廈は、悸は32/28nm坤洛になってはじめて咐われたわけではなく、ず〖っと笆漣から帆り手しいわれてきたが、姜哚と冉們した客たちが忙皖していっただけで、ポジティブな斧數で靠孵に艱り寥んだ客たちによって畝腮嘿步の蘋が磊り倡かれてきた。
かつて染瞥攣緩度とは痰憋のベルギ〖の室拍妓の甫墊疥だったimecは、姜幌辦從ム〖アの恕摟の變炭に靠孵に艱り寥み、海や坤腸呵黎眉の呵絡かつ呵光の染瞥攣腮嘿步甫墊怠簇へと喇墓した。
黎眉染瞥攣度腸では、駱TSMCと躥Samsungが、7/5nmデバイス翁緩に EUVリソグラフィ∈NA=0.33∷を努脫している。TSMCでは、殿る11奉に駱涎の3nm翁緩ファブが階供し、塑家のある糠冪にて2nm翁緩ファブの氟肋を潔灑面で、ASMLに1駱200帛邊漣稿のEUV溪各劉彌を驢眶券廟している。TSMCによれば、網弊の呵絡の富吏は畝腮嘿步プロセスによる瀾隴減廟にあるという。票家の海鉗の卿懼光は漣鉗孺3充籠と徒盧されている。
imecとASMLが光NA EUVラボを肋惟、畝腮嘿步の甫墊に緬緘
Van den hove會は怪遍の面で、腮嘿步が3nmの噬を臂えると、さらに光豺嚨刨の肌坤洛光NA (NA=0.55) EUV劉彌を瞥掐する澀妥があると回紐した∈哭2∷。ASMLでは、すでに叼絡な光NA EUV溪各劉彌(NXE:5000シリ〖ズ)の答塑肋紛を姜えているが、睛墑步は2022鉗ごろの徒年であるという。ASMLは驕丸からimecと泰儡に定度してリソグラフィ禱窖倡券を乖ってきたが、光NA EUVリソグラフィ劉彌を脫いたリソグラフィプロセス倡券に簇しては、ベルギ〖のimecキャンパスに≈IMEC-ASML HIGH NA EUV LAB∽を糠たに肋彌して鼎票倡券を乖い、マスクやレジストの倡券なども尉家が燎亨サプライヤと辦斤になって倡券を乖うとしている。
哭2 3nmから1nm踏塔に魂るリソグラフィ劉彌のロ〖ドマップ¨驕丸房∈NA=0.33∷EUV溪各劉彌から叼絡な光NA (NA=0.55) EUV溪各劉彌へ (叫疥¨imec. 2020鉗11奉)
EUV溪各は泣塑欄まれの禱窖なのに泣塑で染瞥攣瀾隴に蝗われない
EUVリソグラフィは、悸は泣塑欄まれの禱窖であることは、ほとんど撕れ殿られている。坤腸ではじめてのEUVリソグラフィの券山は、1986鉗炳脫濕妄池柴僵膽絡柴でのNTTによる≈X俐教井抨逼溪各∽と瑪する券山であることはASMLも千めている。その稿、驕丸のX俐リソグラフィと惰侍するため、勢柜でEUVリソグラフィと鈣ばれるようになった∈徊雇獲瘟1∷。いわば塑踩の泣塑では、20鉗奪くにわたり、叼馳な甫墊銳を抨じてEUV簇息のさまざまな柜踩プロジェクトや度腸コンソ〖シアム寵瓢が乖われたが、馮渡、泣塑の劉彌メ〖カ〖はEUV溪各劉彌倡券から玲」と瘧鑼し、EUV溪各を欄緩に寵脫する染瞥攣メ〖カ〖も廠痰のありさまだ。悸は、EUVのみならず、すべての染瞥攣簇息の柜踩プロジェクトやコンソ〖シアム寵瓢が、謄篩に非げていた≈泣の摧染瞥攣の牲涪∽をもたらさなかった。
柜踩徒換を蝗って長嘲の染瞥攣メ〖カ〖を泣塑に投米したり、泣の摧ファウンドリを肋惟したりしようという瓢きがあるようだが、そんな蛔い燒きのような活みは瘋して喇根しないだろう。その漣に泣塑の≈己竊の塑劑∽、長嘲廓の≈喇根の塑劑∽をきちんと池ぶべきだろう。
徊雇獲瘟
1. 繩嬸擔¨≈ム〖アの恕摟を費魯させる3D悸劉とEUVリソグラフィ禱窖∽、マイナビニュ〖ス、(2020/07/22)
