EXHIBITOR LISTING
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PC:プロセス制御・モニタリング
| アズビル株式会社 | アズビルが長年培った半導体市場におけるノウハウを結集した『EESソリューション： Orchard Tequira』、 年々厳しくなるプロセス圧力計測に対応する『サファイア圧力計』、 更に半導体ファブでの実績を生かして進化してきた『設備管理システム：Orchard Tequira』、 近年高まる『BCPへの取組に必須な地震センサ』などを用意して皆様をお待ちしております。 http://www.azbil.com/jp/ |
PE:製造装置・測定装置
| (株)ピーエムティー |
液滴観測からインク塗布などの加工が可能な装置。 ＜特徴＞ インクに対し、任意のヘッド駆動パラメーターの設定が可能。 アライメントカメラによる塗布後の観察も可能。 高精度なステージシステム。 メンテナンス簡単なヘッド。 |
| (株)レイテックス | レイテックスは、ウェーハエッジ・裏面検査装置のパイオニアとしてお客様のニーズに合致した製品を提供してまいりました。その様々な経験より生まれた、新しいプロセスソリューションとしてエッジブラスト装置とマスクレス露光装置のご提案をさせていただきます。 |